摘要
O -p^S S3QX{5t\ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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>=1UhHFNI l~@ -oE 建模任务
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U{\ & ##JZ 仿真干涉条纹
/CbM-jf iRv \:.aQ. v|jwz.jM 走进VirtualLab Fusion
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lZ`@ }^& hsI9{j]f VirtualLab Fusion中的工作流程
^~bAixH^k Ro2!$[P •设置输入场
<#T #+ uO −基本光源
模型[教程视频]
"M %WV> •使用导入的数据自定义表面轮廓
w (ev=)7< •定义元件的位置和方向
:<1PCX2 − LPD II：位置和方向[教程视频]
K2tOt7M! •正确设置通道以进行非
序列追迹
Ik=bgEF −非序列追迹的通道设置[用例]
SK ,UW6h •使用
参数运行检查影响/变化
j<w5xY
−参数运行文档的使用[用例]
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P Qi= i[vOpg]J VirtualLab Fusion技术
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