摘要
nRc\!4 |gI>Sp%Fu 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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M:9m) `B@eeXa;u 建模任务
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B&~q$ ~'% d]s+q aI&~aezmN 仿真干涉条纹
# &.syD# B`e/ / A #cFO)" 走进VirtualLab Fusion
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0RA#Y(IR xR0*w7YE VirtualLab Fusion中的工作流程
S'34](9n6 tV(iC~/ •设置输入场
]%D!-[C%1 −基本光源
模型[教程视频]
X1(ds*' Kv •使用导入的数据自定义表面轮廓
Ob]\t/:%P •定义元件的位置和方向
P^<3 Z)L − LPD II：位置和方向[教程视频]
% >Gb]dv? •正确设置通道以进行非
序列追迹
}d}gb`Du −非序列追迹的通道设置[用例]
qI9j =4s. •使用
参数运行检查影响/变化
;S U<T^a −参数运行文档的使用[用例]
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"L]v:lg3 h@R n)D VirtualLab Fusion技术
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