一．概述
lDc-W =X= 随着光刻分辨率的不断提高，
光学光刻机中采用的投影物镜结构型式经历了演变和筛选过程。在早期的低分辨率光刻机中，全反射型、全折射型、折反射型多种结构型式并存：在目前的高分辨率光刻机中，全折射式结构型式是主流。
( #D*P l i;z{zVR 与全折射式结构型式相比，折反射式结构的投影物镜具有许多优越的光学性能，但其在光刻机中的真正使用尚需克服许多技术问题。在现代高分辨率光学光刻机中，投影物镜的结构型式大致分为两类：全折射型和折反射型。
Bc7V)Y K omSM:f_~ 全折射型投影物镜是指只含有
透镜的投影物镜，而折反射型投影物镜则是同时含有透镜和反射镜的投影物镜。
2)X4y"l urBc=3Rz 二．SYNOPSYS自由曲面设计功能
vb
Y3;+M > 受限于EUV（极紫外光）使用的波长为13.5nm，由于该波段的光几乎没有光学材料可以透过，因此为了使用更短的波长，此类光刻物镜只能采用完全反射式进行设计。
2I/xJ+ kDvc"
,SD# SYNOPSYS的自由曲面设计功能可以非常方便快捷地设计自由曲面反射式
光学系统。
asJ!NvVG' 0 B@n{PvR0 只需要输入每个反射镜的初始位置、形状，以及系统的物方
参数和像方要求，此功能会自动生成对应的
优化文件和初始结构。
dS2G}L^L #KxbM -1= 宏文件和
镜头文件可以评论区留言领取
h RC = ?D(g
(*p , T 三．反射式光刻物镜优化结果
uhyj5u) 得到优化的宏文件可以评论区留言领取
xu5ia|gYz7 =Prb'8 W 调整优化宏，进一步优化反射镜的形状以达到更好的
成像质量。额外的质量要求都可以在优化文件内按需要增加或调整。
#LlUxHv # #:jb*d?
6W[}$#w 对应镜头文件可以评论区留言领取
4y:]DC" IU FH:w]
FBx_c;)9Z
in+}/mwfC 软件自动优化功能，会自动将反射镜的位置优化匹配到不会影响
光线轨迹的情况。（对比图可以看到，优化后的结果和未优化的效果图）如上图镜头文件的pad二维窗口显示，光线在各个反射镜之间传递，无任何光线轨迹被遮挡的情况。
W>_]dPB S/ 5 @U<I 畸变在1.6%
YHNR 3 $rIoHxh. y
3@+b }9s8 MTF曲线，在1200线对/毫米内满足大于0.3
]aP= K s% K 0gI) :
PyVC}dUAX RMS光斑尺寸，全视场小于0.0011
1"Z @Q`} &Z(K6U#.
:NJ_n6E 波前图
:B3[:MpL} OsBo+fwT
v+p {|X- 点列图
|4$M]M f0 .2d9?p3Y
vEf4HZ&w
ah x>q 4BnSqw a_ 以上就是本次设计的全部流程和结果，如有需要可评论区留言获取对应宏文件以及试用版SYNOPSYS软件，感谢阅读。
