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摘要 S"@/F-
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n9 %&HDl4 8ofKj:W] 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 HM]mOmL90N nOCCOTf 建模任务 R1/h<I: W"v"mjYud
]aMeMhe- QVR8b3T@ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 *U mWcFoF 3J_BuMV
xU!eT'Y BN~gk~t_ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ,J4rKGG JW}O`H9
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