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摘要 k_
UY^vz. A'c0zWV2
l"f.eo0@7 ZMt9'w; 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 u+&BR1)C i'H{cN6 建模任务 Cf91#%:cN =$X5O&E3'
3yszfWr "|{NRIE 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Zz!XH8sH
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5@%$M$E M/EEoK^K@ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 :"5i/Cx -=H*(M
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