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摘要 5zX;/n~ IY?[ 0S
gX5I`mm a;D{P`%n 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 c%r?tKG6 `h/j3fmX? 建模任务 mdR:XuRD"t 7-.YVM~R
~mx me6"v ]fIv{[A_
由于组件倾斜引起的干涉条纹 \1hbCv$Hf V|ax(tHv
mnu4XE#| $R%xeih1fz 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 g8
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