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摘要 RRR'azT tai
9,g &EnvG vF,\{sgW 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 OT/*|Pn9 #Q320}]{ 建模任务 s2s}5b3 TNs;#Q
$C@v H%2Y8} 由于组件倾斜引起的干涉条纹 CDOqdBQ '!Gnr[aR
nW?DlECo? X$z@ *3= 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ,QW>M$g{ /4w"akB|P
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