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摘要 X:A\{^~ ?=,tcN
MAXdgL[] .XmD[= 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Q|>y2g! VioVtP0
建模任务 eR/7*G5 3eB2=_V`
<1y%ch; oDC3AK& 由于组件倾斜引起的干涉条纹 L{42?d l$FHL2?Cp
V{n pK( =X`/.:%|[ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Uz0mSfBp ]?kf;A@
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