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摘要 t_x\&+W D$I7Gz,w{
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x= _rY,=h{+ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 qx5.LiF 68+9^ 建模任务 $3W[fC tO)mKN+
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+/-#yfn!TR ,N?~je. 由于组件倾斜引起的干涉条纹 V[5-A $ft sD_Z`1
lBgf' b3$ GFYAg 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 pI,QkDJ0 ' n#;~
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