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摘要 J`6X6YZ M7Pvc%\)
&*G+-cF dx=\Pq 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ?/mk FDN n-h2SQl! 建模任务 "W_C%elg 5lp
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e=11EmN9 N4 O'{ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 "J0,SFu: 6E9y[ %+
F&{RP> gTI!b 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 }$K2h* UWdPB2x[
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