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摘要 Xcy Xju#"p Xf"B\%,(`
M<%g )jn_ t&oNC6 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 fFSQLtm?E h&k*i 建模任务 (59u<F n/&}|998?
vg.K-"yQW mBQp#-1\ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ?}n\&|+ 5LkpfmR
.!B>pp(9 R9!GDKts% 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 >k)zd- <Rno;
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