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摘要 UZ$p wjC G+ToZ&f@
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h!F8DC 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 /D12N'VaE fXN;N&I 建模任务 b3ZPlLx6 51A>eU|
H5n"!! d;z`xy(C 由于组件倾斜引起的干涉条纹 rv+"=g .3[YOM7h
F n\)*; ^ q(C+D%xB 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 $ _zdjzT S}>rsg!
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