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摘要 rTm>8et f<$K.i
|zRoXO`]-* :_I
wc= 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 X=*Yzz} )\:lYI}Wpm 建模任务 y5Z<uwXc
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k=d%.kg eKU@>5 由于组件倾斜引起的干涉条纹 +0JH"L5! Rd@n?qB
b'Piymx leX7(Y;!a7 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 r~Is,.zZ} y<Z#my$`|n
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