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摘要 j&=!F3[ QPwUW
R&s\h"=* 6rzXM`cs 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 0SWec7G x-s]3'!L 建模任务 r}])V[V Y-c_ 2 )
rc]`PV W-@}q}A 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ^T/d34A;SP UPJ3YpK
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[\S=K|/ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 b\9}zmG[u PaYsn *{})
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