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摘要 eF8aB?&" SILvqm
|W~V@n8"6 3w<j:\i 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ;Xd\$)n
i_E#cU 建模任务 +2au
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+/b4@B7 ?`l=!>C4s 由于组件倾斜引起的干涉条纹 H/@M NBg>i7KQ
QIMv9; ~0^,L3M 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Z1V'NJI+ SJ~I
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