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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 nT2)E&U6%  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 l&?ii68/  
    qP<Lr)nUH  
    初始宏文件可以评论区留言获取  T Q,?>6n  
    X1~1&:V,<  
    4[N^>qt =  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 }f2r!7:x  
    0Fu~%~#E$  
    2.1设计要求
    tJN<PCG6"  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: AlJ} >u  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 av~5l4YL  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 5xL~`-IA&v  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    }NB}"%2  
    D_Bb?o5  
    zP<pEI  
    以上展示部分命令,这其中, JfPD}w  
    OBG 的物是高斯光束. P9 Z}H(?C  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. }\C-} Q  
    得到的初始结构如下:
    vx4+QQY P  
    K<>sOWZ'S  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 &4_qF^9J  
    原因如下: \QB;Ja _  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 0 iJue &  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 vhhC> 7  
    优化
    o6p98Dpg   
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 %;D.vKoh  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 `jOX6_z?I  
    改变高阶项
    }1rm  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? bcupo:N  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 )5 R=Z<  
    HELP USS p'om-  
    然后找到类型16。 aFLO{tr`  
    IY*EA4>  
    优化结果
    ` He,p -  
    0#MqD[U(  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 &y#r;L<9  
    光通量
    [ Fz`D/  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 F;>!&[h}G  
    7hcNf,  
     E6WA}_  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? PsZ >P|e1  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 Nr=d<Us9f  
    打开 MMA对话框。 ^I+)o1%F  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 }[xs~! 2F  
    Object point (物体坐标)设定为 0, /:FOPPs  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, BXyo  
    数字化输出, QNl'ZB \  
    绘制图表。 m?&1yU9  
    @62Mk},9 c  
    '{B!6|"X  
    这是一个表面光栅的分布图。 CJ++?hB]X  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? $r3i2N-I  
    7>~5jYP  
    &e8s65`  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ]EpWSs!"g  
    VY 5 RAD nb>7UN.9  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: 9WR6!.y#f  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 CH<E,Z C1T  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 L/z),#  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    'R:"5d  
    光通量
    光栅分布
    i _%Q`i  
    pf7it5  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 rX1QMR7?  
    镜片表面高斯光强分析
    YSe.t_K2C  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. ;"m ,:5%  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE &sd}ulEg`  
    ~T89_L  
    Y(d$  
    pt}X>ph{  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) f1(+ bE%  
    它有着预期的高斯分布的形状。 jNC4_q&  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 0MdDXG-7  
    输入: ^) s2$A:L  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE eET}r 24  
    非常均匀水平的光强分布。 GbaEgA'fa  
    @#-q^}3  
    DMASK 图像
    qZA).12qS  
    :dqn h  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 _:"<[ >9  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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