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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 :,[=g$CT:  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 Z:3SI$tO  
    =/zb$d cz  
    初始宏文件可以评论区留言获取 _dk/SWb)  
    L^><APlX  
    dw"{inMf  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 .{ +Ob i  
    ;I@@PUnR  
    2.1设计要求
    ~+OAAkJ9  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ?Q#yf8  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 [ :*Jn}  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: =QQTHL{3  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    -Mx\W|YK  
    ecIZ +G)k  
    v62O+{  
    以上展示部分命令,这其中, oTLA&dy@  
    OBG 的物是高斯光束. 'PK;Fg\  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. T\3a T  
    得到的初始结构如下:
    ]R?{9H|jwE  
    "Di8MMGOY  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 p^>_VE[S  
    原因如下: wR]jJb F  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 PT/TQW  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 9hn+eU  
    优化
    pB0p?D)n  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 $vjl-1x&  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 {2,vxGi  
    改变高阶项
    YggeKN  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? _`-trE.  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 ":!7R<t  
    HELP USS 'ugc=-0pd  
    然后找到类型16。 MFzJ 8^.1R  
    6#gS`X23Y  
    优化结果
    :plN<8  
     TG^?J`  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 8;\  
    光通量
    6>=yX6U1q^  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 1~aP)q  
    ::`#qa4!  
    p()#+Xy  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? 9S_PZH  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 (2uF<$7(  
    打开 MMA对话框。  oo4aw1d  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 8gn12._x  
    Object point (物体坐标)设定为 0, ~H4wsa39  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, /9@[gv A  
    数字化输出, ms%RNxU4:  
    绘制图表。 qEJ#ce]G  
    =`pH2SJT  
    I6-.;)McO  
    这是一个表面光栅的分布图。 9Rd& Jq^  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? $~c wB  
    o|G[/o2  
    B9(@ .  
    在 PANT 文件中添加一个变量: =8V 9E  
    VY 5 RAD kVe4#LT  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: X%rsa7H3J  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 P+:DLex  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 R(AS$<p{!>  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    ,[UK32KWI  
    光通量
    光栅分布
    N5d)&a 7?  
    RIdh],-  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 s~'"&0Gz  
    镜片表面高斯光强分析
    4^(aG7  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. FKBI.}A?!'  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE VS jt|F)t  
    f"RS,]  
    38E %]*5F  
    8yDe{  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) c4V%>A  
    它有着预期的高斯分布的形状。 yQ!I`T>a  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 B? Z_~Bf&  
    输入: W7#dc89}  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE '4ip~>3?w  
    非常均匀水平的光强分布。 ?Gqq]ozm  
    %urd;h D  
    DMASK 图像
    (Cb;=:3G  
    MSaOFv_Q  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 H@!]5 <:9  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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