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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 $]/{[@5  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 & p  
    > PRFWO  
    初始宏文件可以评论区留言获取 V1N3iI  
    vxBgGl  
    EIP /V  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 xX&+WR  
    oGnSPI5KGC  
    2.1设计要求
    |.: q  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: i#n0U/  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 M6 "PX *K  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: Y8~"vuIE5  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    *SJ_z(CZm  
    @alK;\  
    ? =Z?6fw  
    以上展示部分命令,这其中, KxJ!,F{>H  
    OBG 的物是高斯光束. o q Xg  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. Cw3 a0u  
    得到的初始结构如下:
    g*AWE,%=|  
    #jvtUS\  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 TQF| a\M'  
    原因如下: O m|_{  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 PJ|P1O36a  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 0*3R=7_},o  
    优化
    I{ C SH  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 {UI+$/v#  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 I5 p ? [  
    改变高阶项
    Z"xvh81P  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? I^-Sb=j?Z  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 W aRw05r  
    HELP USS i>`%TW:g  
    然后找到类型16。 q"lSZ; 'E  
    m.rmM`  
    优化结果
    _1\v  
    D#C~pdp  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 Dcgo%F-W  
    光通量
    k1~&x$G  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 zR:L! S  
    S9y}  
    p8O2Z? \  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? JX;G<lev  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 -G rE} L  
    打开 MMA对话框。 i-_mTY&M  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 +7.',@8_V  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 5|s\* bV`  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, Xl#ggub?  
    数字化输出, +'HqgSPyb  
    绘制图表。 AQvudx)@"  
    .t!x<B  
    F^;ez/Gl  
    这是一个表面光栅的分布图。 EV%gF   
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? hL{KRRf>  
    "ze|W\Bv!  
    "<1{9  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ^}o2  
    VY 5 RAD f.$af4 u  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: 'zTLl8P  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 0S!K{xyR  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 @qAS*3j  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    f2`2,?  
    光通量
    光栅分布
    $<EM+oJ|ER  
    Z@!+v 19^  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 @# l= l  
    镜片表面高斯光强分析
    H<,gU`&R  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. <PH #[dH  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE  x'<X!gw  
    <>rneHl8  
    0aB;p7~&  
    H*CW1([  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) rjYJs*#  
    它有着预期的高斯分布的形状。 oap4rHk}  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 )Ql%r?(F+  
    输入: %>{0yEC  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE /h3RmUy   
    非常均匀水平的光强分布。 p<"mt]  
    &V/Mmm T  
    DMASK 图像
    8{sGNCvU  
    t'ql[  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 @\#td5'  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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