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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 6U).vg<  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 C,ldi"|  
    x6aVNH=  
    初始宏文件可以评论区留言获取 )E",)}Nh  
    <YCjo[(~  
    `$"{-  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 ,M]W_\N~E  
    ^E, #}cW  
    2.1设计要求
    fm#7}Y  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: fhk(<KZvJ  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 E.C=VfBW  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: s|WcJV  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    )l*3^kwL{U  
    5bZ0}^FYF  
    P=_W{6  
    以上展示部分命令,这其中, 3Q&@l49q  
    OBG 的物是高斯光束. #x;d+Q@  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. C^?/9\  
    得到的初始结构如下:
    .mnkV -m  
    G=e'H-  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 D!,'}G #  
    原因如下: YPs9Pqkn  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 s&%r?  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 )"Ujx`]4r  
    优化
    T2?.o.&u  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 7iy2V;}  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 U*EBH  
    改变高阶项
    ~- aUw}U  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? lE+Duap:  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 R<3 -!p1v  
    HELP USS CT\rx>[J.6  
    然后找到类型16。 _+Z;pt$C  
    rZAP3)dA  
    优化结果
    8VpmcGvc3  
    ra ,.vJuT  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 jJ RaY3  
    光通量
    [IyC}lSW^-  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 c r18`xU  
    'K23oQwDB  
    ,=pn}\ R  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? B0g?!.#23  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 5rtE/ {A  
    打开 MMA对话框。 iDCQqj`  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 Vo%ikR #  
    Object point (物体坐标)设定为 0, +Lr`-</VF  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, ( s+}l?  
    数字化输出, ),,0T/69+9  
    绘制图表。 ~1Ffu x  
    sVlQ5M oo(  
    &[ |Z2}  
    这是一个表面光栅的分布图。 uowdzJ7  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? F)aF.'$-/  
    ?wIw$p>wT  
    aMK\&yZD  
    在 PANT 文件中添加一个变量: "?_ af  
    VY 5 RAD %xX b5aY  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: f(EO|d^u  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 3z k},8fu  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 {XXnMO4uR;  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    U @}r?!)"f  
    光通量
    光栅分布
    .8|"@  
    +wGvY r  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 Fbw.Y6  
    镜片表面高斯光强分析
    R_80J=%0  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. n482?Wp  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE FbCuXS=+`  
    }+:X=@Z@  
    (F#2z\$;  
    #8WHIDS>  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) wF-H{C'  
    它有着预期的高斯分布的形状。 Kciz^)'Z  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 tt&{f <*  
    输入: nwi8>MG  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 0 \1g-kc!v  
    非常均匀水平的光强分布。 /W{^hVkvC  
    9 H>J S  
    DMASK 图像
    0Fs2* FS  
    1_mqPMm  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 3my_Gp  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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