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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 fT 8"1f|w  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 GR|Vwxs<@P  
    o 'yR^`  
    初始宏文件可以评论区留言获取 Ebp8})P/~  
    3xj<ATSe  
    gA.G:1v  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 fV;&Ag*ZiV  
    aY"qEH7]  
    2.1设计要求
    JU"!qXQr  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ,ZH)[P)5P  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 ef|Y2<P  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: E!ZDqq  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    o_={xrmIA  
    czedn_}%Q  
    v[HxO?x^  
    以上展示部分命令,这其中, '6K WobXm  
    OBG 的物是高斯光束. {_Ke'" k  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. )Hw;{5p@  
    得到的初始结构如下:
    |w\D6d]o  
    Z1q '4h=F.  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 ?VReKv1\  
    原因如下: |!&,etu  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 /i$&89yod  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 <Z#u_:5@  
    优化
    (VC_vz-  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 o5zth^p[  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 o F @{&  
    改变高阶项
    dJCu`34Y'|  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? ,=K!Y TeVl  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 SD TX0v  
    HELP USS e6{/e+/R  
    然后找到类型16。 MR8-xO'w  
    ,g^Bu {?  
    优化结果
    !Ng^k>*h  
    s{A-K5S  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 /$ L;m  
    光通量
    o#w6]Fmc  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 6bfk4k  
    UVU}  
    'OJXllGi  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? Nz$O D_]  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 ,j2qY'wi  
    打开 MMA对话框。 A6#ob  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 ~\XB'  
    Object point (物体坐标)设定为 0, U>X06T  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, @|5B  
    数字化输出, |a'Q^aT  
    绘制图表。 ,Hp9Gkm8I/  
     Ya=QN<  
    Cr(pN[,  
    这是一个表面光栅的分布图。 OE:t!66  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? zSkM8LM2  
    b8QW^Z  
    Jbs:}]2  
    在 PANT 文件中添加一个变量: TcRnjsY$  
    VY 5 RAD ^hbh|Du  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: ~ |!q>z  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 F3wRHq  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 E\'_`L  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    vtr:{   
    光通量
    光栅分布
    BNzL+"W  
    6"%[s@C  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 mM}|x~\R  
    镜片表面高斯光强分析
    9Z#37)  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. !3T x\a`?/  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE 2%WZ-l!i  
    P.[>x  
    7<NX;Fx  
    oWJ}]ip  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) w7%N=hL1   
    它有着预期的高斯分布的形状。 .+B!mmp  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 8vUP{f6{  
    输入: Vy(lyD<6  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE dQizM^j  
    非常均匀水平的光强分布。 f \4Qp  
    ([$F5 q1TR  
    DMASK 图像
    <{cPa\  
    J qU%$[w  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 a(}jn|  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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