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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 \ni?_F(Y  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 0gw0  
    >&3M #s(w  
    初始宏文件可以评论区留言获取 "hi?/B#d  
    \\XvVi:B  
    Yo3my>N&g  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 z[X>>P3<n  
    dO}6zQ\  
    2.1设计要求
    Nw[TP G5  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: _0ki19rs  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 &2[OH}4  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: hp+=UnW  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    mH2XwA|  
    nI.K|hU:P  
    n@  lf+  
    以上展示部分命令,这其中, .Nz2K[  
    OBG 的物是高斯光束. 6r{NW9y'  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. Z8*E-y0  
    得到的初始结构如下:
    P*Va<'{:{  
    :,%~R2  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 [E<NEl *  
    原因如下: UIgs/  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 } M-^A{C\%  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。  PNY"Lqj  
    优化
    F \6-s`(  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 _0dm?=  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 o0nd]"q?  
    改变高阶项
    Y!s94#OaZ  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? N Q~keN  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 z5`AJrj%  
    HELP USS ){^o"A?-:  
    然后找到类型16。 4{4VC"fa  
    &{E1w<uv  
    优化结果
    RQhS]y@e  
    Kab"r_'  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 "=<T8M  
    光通量
    `L# pN5  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 oS3'q\  
    MJ"ug8 N  
    K",YAfJa  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? "IQ' (^-P  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 UW%zR5q  
    打开 MMA对话框。 hZ@frbuowk  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 Aiyx!Q6vT  
    Object point (物体坐标)设定为 0, r ,I';vm<`  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, E;m]RtvH  
    数字化输出, &[71~.Od  
    绘制图表。 d[K71  
    0?c2=Y   
    Bv-|#sdxm  
    这是一个表面光栅的分布图。 *} @Y"y  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? e=uElp'%  
    G*;?&;*  
    xE>H:YPm  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ?RW7TWf  
    VY 5 RAD v'3.`aZ!  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: i/UDda"E  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 Z*uv~0a>9Q  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 h[eC i  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    lGoP(ki  
    光通量
    光栅分布
    8(d Hn  
    3 s%Kw,z  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 ` mvPbZ0<  
    镜片表面高斯光强分析
    :\hcl&W:  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. WXq=FZ-  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE }-`N^  
    `Xs3^FJt  
    .M(')$\U  
    gR5 EK$  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) ZVu_E.4.  
    它有着预期的高斯分布的形状。 4)Jtc2z7Z\  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 au=A+  
    输入: wPr9N}rf  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE #BPJRNXd  
    非常均匀水平的光强分布。 6ij L+5  
    ht>C6y  
    DMASK 图像
    t+9[ki  
    >T{Gl/? p  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 +"mS<  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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