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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 %~e+H|  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ~:JoKm`vU  
    REg&[e+%  
    初始宏文件可以评论区留言获取 zi^?9n),  
    G+~f  
    mAM:Q*a'  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 L*6R5i>  
    FG:t2ea  
    2.1设计要求
    H*H~~yQ  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: \:BixBU7  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 F$sDmk#  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: )Fsc0_  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    \<aR^Sj.  
    h}y]Pt?  
    c4f3Dr'xw  
    以上展示部分命令,这其中, %f?Z/Wn  
    OBG 的物是高斯光束. Yi?v |H<a  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. 0f5c#/7C9  
    得到的初始结构如下:
    ey]WoUZ  
    wS7nTZfw  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 BROn2aSx%  
    原因如下: Lcz`  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 }`pxs  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。  ;?G..,  
    优化
    I}sb0 Q&  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 GY t|[GC  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 `N}aV Ns  
    改变高阶项
    im3BQIPR  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? $'x#rW>v  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 F{G.dXZZ<  
    HELP USS +;ylld  
    然后找到类型16。 M <nH  
    tfCK^{  
    优化结果
    RsW4 '5  
    9vckQCLM  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 _:\zbn0\  
    光通量
    eakQZ-Q  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 msVi3`q~  
    C"QB`f:  
    iv ~<me0F  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? "-Yj~  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 1)#dgsa  
    打开 MMA对话框。 ?J@P0(M#  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 f+lPQIB  
    Object point (物体坐标)设定为 0, ?[=OQ/E  
    光线网络 CREC 设置为网格 7,  r4M;]  
    数字化输出, /PKu",Azj  
    绘制图表。 F!<!)_8Q  
    ?_7iL?  
    mndKUI}d  
    这是一个表面光栅的分布图。  5]*!N  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? 5.LfN{gE)  
    [pC2#_}  
    #}HdylI\}  
    在 PANT 文件中添加一个变量: {TZV^gT4  
    VY 5 RAD jp7cPpk:LG  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: s6QD^[  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 >qVSepK3  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 =gB8(1g8  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    )x<BeD  
    光通量
    光栅分布
    @A|#/]S1  
    g`w46X  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 <1#hX(Q  
    镜片表面高斯光强分析
    uO)vGzt3^x  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. $)eS Gslz  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE N 9s+Tm  
    8O_yZ ~Z4  
    KE6 XNG3  
    *c>B-Fo/D  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) ]v]tBVO$  
    它有着预期的高斯分布的形状。 Qff.QI,  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 &xpvHKJl  
    输入: (((|vI3 <  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 4y.qtiIP>$  
    非常均匀水平的光强分布。 ~e&O?X  
    ?G<ISiABQC  
    DMASK 图像
    1ASoH,D/  
    [C\B2iU7_M  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 [FZq'E"87  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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