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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 ;RN8\re  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 X;fy\HaU  
    `Y3(~~YGn  
    初始宏文件可以评论区留言获取 /N^~U&7  
    &1)xoZ'\  
    d*;$AYI#R  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 $V8vrT#:  
    *,#q'!Hq  
    2.1设计要求
    FMu!z  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: w;yx<1f  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 t 6u-G+}  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 73DlRt *  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    V,QwN&  
    #*%fu  
    t&c&KFK)I&  
    以上展示部分命令,这其中, G%w_CMfH  
    OBG 的物是高斯光束. Qp:6= o0:  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. +cfziQ$'  
    得到的初始结构如下:
    B.-A $/  
    dl[ob,aCK  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 w@N{ @tG  
    原因如下: o+)A'S  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 wz@FrRP=  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 fuSq ={]  
    优化
    Uu2N9.5  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 B 1w0cS%%:  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 fykI,!  
    改变高阶项
    N+>'J23d!  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? -h\@RC  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 &X w`T9<  
    HELP USS mrnxI#6  
    然后找到类型16。 +G!v!(Ob+  
    _'*DT=H'U  
    优化结果
    =49o U  
    Ve:&'~F2 s  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 ib50LCm  
    光通量
    $y6rvQ 2>S  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6  Rkv  
    YeIe\3x!N  
    `Yogq)G}  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? fu>Qi)@6a1  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 Rrz'(KSDw  
    打开 MMA对话框。 , ,{6m d  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 Z}f^qc+  
    Object point (物体坐标)设定为 0, F^TAd  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, T5{T[YdX<  
    数字化输出, CveWl$T12  
    绘制图表。 2E$i_jc  
    )_pt*xo  
    =dn1}  
    这是一个表面光栅的分布图。 ftW{C1,U7  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? -y<x!61  
    77_g}N  
    H:E5xz3VQ  
    在 PANT 文件中添加一个变量: :xN8R^(  
    VY 5 RAD Uf[T_  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: U$@83?O{iM  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 \vs%U}IrO  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 67ZYtA|t  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    \SzGzCJ  
    光通量
    光栅分布
    `&G}  
    -}AE\qXs/  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 7Ff?Ysr  
    镜片表面高斯光强分析
    J2Y 3er  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. q1<Fg.-r  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE I-,Xwj-  
    ~ \-r  
    %,Q;<axzi  
    dd19z%  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) tbRE/L<  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ^h"n03VFA  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 U !.~XT=  
    输入: `L+ ~&M  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE vsw7|  
    非常均匀水平的光强分布。 GW:\l~ d  
    ]zy~@,\  
    DMASK 图像
    ^$8Vh =D  
    1riBvBT  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 g8rp|MOH  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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