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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 [r f.&  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 qOi"3_  
    REc+@;B  
    初始宏文件可以评论区留言获取 %IhUQ6  
    ccm(r~lhJ  
    nLcOz3h  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 <V_P)b8$1  
    .M zAkZ=  
    2.1设计要求
    &m8Z3+Ea  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: f' 28s*n  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 +%: /!T@@  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 3Lw&HtH  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    u/S{^2`b  
    .]D7Il  
    +q-/~G'  
    以上展示部分命令,这其中, Gr}lr gPS  
    OBG 的物是高斯光束. *Z:'jV<  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. Eu)(@,]we  
    得到的初始结构如下:
    0kOl,%Ey  
    >J,y1jzJ  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 v[J"/:]  
    原因如下: e_Un:r@)  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 m2h@*  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 6tKCY(#oO+  
    优化
    4Ow0g-{  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 {Xw6p  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 gSn9L)k(O  
    改变高阶项
    SoPiEq  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? { M&Vh]  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 L^><APlX  
    HELP USS fq,LXQ#G  
    然后找到类型16。 lU&[){  
    4k4 d%  
    优化结果
     @& fAR2  
    io{\+%;b~  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 C0v1x=(xiM  
    光通量
    Ap)[;_9BD  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 4/:}K>S_  
    5@&{%99  
    ^Pp2T   
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? BfUM+RC%5  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 >.4mAO  
    打开 MMA对话框。 CYFi_6MFl  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 *47',Qy  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 6! .nj3$*  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, Oll,;{<O  
    数字化输出, ]~!?(d!J/  
    绘制图表。 gR\-%<42  
    @B#\3WNt  
    '"Z\8;5i  
    这是一个表面光栅的分布图。 ^]{m*bEkR  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? RF$2p4=[  
    ~>-MVp  
    C(@#I7G  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ,C97|6rC  
    VY 5 RAD (RBzpAiH  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: x4=Sm0Ro|V  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 lo< t5~GQ  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 2/F";tc\'  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    aTLu7C\-e  
    光通量
    光栅分布
    SR8)4:aKW  
    K~6,xZlDWM  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 bbe$6xwi  
    镜片表面高斯光强分析
    g:rjt1w`D  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. ]/ffA|"U`  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE XV %DhR=  
    ?_V&~?r   
    ]o+5$L,5b  
    T0TgV  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) 'L$}!H1y  
    它有着预期的高斯分布的形状。 PXrv2q[5?  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 Z`]r)z%f  
    输入: ,$A'Y  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE }p|S3/G?$!  
    非常均匀水平的光强分布。 O3KTKL]  
    JG/Pc1aK  
    DMASK 图像
    ` G- V %  
    ATzFs]~K;  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 V]Z!x.x"=y  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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