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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 ?9Hs,J  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ).$q9G  
    p)e?0m26  
    初始宏文件可以评论区留言获取 Pd8zdzf{  
    x=I|O;"><  
    `b:yW.#w3l  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 360b`zS  
    +tCNJ<S@l$  
    2.1设计要求
    bXNM.K  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: $ S'~UbmYU  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 AZH= r S`  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: b#[EkI 0@  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    5H^"  
    MszX9wl  
    &:?2IAe  
    以上展示部分命令,这其中, JwNB)e D  
    OBG 的物是高斯光束. ^q}cy1"j"  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. O<>cuW(l  
    得到的初始结构如下:
    vuoD~=z  
    b haYbiX?  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 (:r80:  
    原因如下: %0Mvd;#[  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 *=b36M   
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 NpAZuISD!  
    优化
    L ]Y6/Q   
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 &UxI62[k  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 M "\j7(  
    改变高阶项
    *Sw1b7l  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? vPce6 Cl*  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 a d#4W0@S  
    HELP USS Ad)::9K?J  
    然后找到类型16。  ZcE:r+  
    G?dxLRy.do  
    优化结果
    &|YJ?},  
    z@Uf@~+U  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 DFM~jlH  
    光通量
    ;6655C  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 b^^ .$Gu  
    RlUX][)  
    zI{~;`tzN  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? %f1>cO9[  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 |PxTm  
    打开 MMA对话框。 U9(p ^  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 Ka/*Z4"  
    Object point (物体坐标)设定为 0, nvbKW.[<f{  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, |w+N(wcJ  
    数字化输出, &xLCq&j 1  
    绘制图表。 zPc kM)  
    rv<_'yj  
    Yaix\*II  
    这是一个表面光栅的分布图。 &rfl(&\oUi  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? jBMGm"NE  
    uA;vW\fHr  
    z)F<{]%  
    在 PANT 文件中添加一个变量: *Y`c.n"  
    VY 5 RAD 0WI@BSHnM  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: @Yj+u2!  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 ~-2Gx HO`  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 h/pm$9A  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    6%a:^f]  
    光通量
    光栅分布
    Wy.^1M/n>~  
    1"wZ [.  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 "ph<V,lg  
    镜片表面高斯光强分析
    y Q-{ CJ,  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. 9p4=iXfR  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE zff<#yK1  
    >K n7A  
    brEA-xNWQ  
    svvl`|n%  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) *;:dJXR  
    它有着预期的高斯分布的形状。 zVvL!  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 ac!!1lwA  
    输入: @0 #JY:"  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 0vZ49}mb)  
    非常均匀水平的光强分布。 qO{Yr$ V%  
    B+2E IaI  
    DMASK 图像
    *2>kic aH  
    O9ar|8y  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 ({0:1*lF@  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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