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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 >^dyQyK  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 KacR?Al  
    Kl{-zX  
    初始宏文件可以评论区留言获取 YQ; cJ$  
    3filAGR?  
    d^PD#&"g  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 )B6# A0  
    l';pP^.q  
    2.1设计要求
    [!EXMpq'  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ?]^zD k@~  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 $*k)|4  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: nTPB,QE<  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    S.{fDcM  
    9CB\n  
    cph~4wCS[U  
    以上展示部分命令,这其中, y,Jh@n';|  
    OBG 的物是高斯光束. tR1FO%nC  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. ^=^$tF  
    得到的初始结构如下:
    P|N2R5(>T  
    jo}1u_OJ  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 n@hl2M6.x9  
    原因如下: um7o!yg,  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 +Gow5-(  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 F|Q H  
    优化
    61} i5o  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 /prYSRn8  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 Z0-ytODI I  
    改变高阶项
    F?9SiX[\  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? 3Hw[s0[$  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 +TH3&H5I_A  
    HELP USS ?n.)&ZIx0  
    然后找到类型16。 b HE7yv [  
    #jBN?Z#  
    优化结果
    )s)_XL  
    7NJFWz!  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 wO7t!35  
    光通量
    <J&7]6Z  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 u`_*g^5q"  
    a[sKE?  
    z C=a3  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? *nRNg.i3D  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 yS!(Ap  
    打开 MMA对话框。 hJ f2o  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 .IgRY\?Q  
    Object point (物体坐标)设定为 0, )#C mQXgG  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, E)W@{?.o#  
    数字化输出, T  p<s1'"  
    绘制图表。 O-#TZ   
    F}36IM9/:  
    $'{=R 45Z  
    这是一个表面光栅的分布图。 $ J1f.YE  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? sZg6@s=  
    j+kC-U;  
    kccWoU,  
    在 PANT 文件中添加一个变量: !:3.D,  
    VY 5 RAD w<NyV8-hL  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差:  \S4SI  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 gmP9j)V6  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 ~Y7dH Dn  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    })Yv9],6  
    光通量
    光栅分布
    QA?oJ_}y  
    0 )}$^TV  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 1/;o  
    镜片表面高斯光强分析
    y 9L14  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. IRW^ok.'b!  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE n?xTkkr0  
    nlGHT  
    },@``&e  
    W\cjdd  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) 2S ~R!   
    它有着预期的高斯分布的形状。 eSfnB_@x2  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 5l{Ts04k%  
    输入: Z7a945Jd  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE skg|>R,kE  
    非常均匀水平的光强分布。 nP3  E  
    pQa:pX  
    DMASK 图像
    HrM$NRhu  
    [k<1`z3  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 2C=Q8ayvX  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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