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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 !\}X?G f  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 Mp7X+o/  
     W<@9ndvH  
    初始宏文件可以评论区留言获取 rHa*WA;TE  
    lS96Z3k"SB  
    PNs*+/-S  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 YctWSfh  
    XkhGU?={  
    2.1设计要求
    0 L$[w  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: `PUGg[Zx^  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 X=KC +1e  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: dJjkH6%}  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    kRb  %:*  
    k.ttrKy<q/  
    jcbq#  
    以上展示部分命令,这其中, aJ"m`5]=%  
    OBG 的物是高斯光束. 0NF=7 j  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. 2 oo/KndU  
    得到的初始结构如下:
    ^)UX#D3b  
    T'> MXFLh  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 3oOr*N3R  
    原因如下: lv>^P>S(O  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 +,1 Ea )  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 Ii&\LJ  
    优化
    .Im=-#EN  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 ~Z~V:~  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 ntntB{t  
    改变高阶项
    P?ms^   
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? Rc vp@  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 Am!OLGG4  
    HELP USS cN-$;Ent  
    然后找到类型16。 4nrn Npf`b  
    >r3SF3XMq  
    优化结果
    f~10 i D  
    wJZuJ(  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 hXh nJ  
    光通量
    }/lyrjV  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 /Nkxb&  
    akF T 0@9  
    ,`bmue5  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? ,M9e *  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 X;1yQ |su  
    打开 MMA对话框。 Q2!5  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 TwsI8X  
    Object point (物体坐标)设定为 0, L54]l^ls>  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, !nsx!M  
    数字化输出, <aLS4  
    绘制图表。 _G&gF .|  
    9:*[Q"v  
    _=cU2  
    这是一个表面光栅的分布图。 RGL2S]UFs  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? zI0d  
    |R2p^!m  
    l,*5*1lM  
    在 PANT 文件中添加一个变量: npd:aGx  
    VY 5 RAD TuEM  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: W7. +  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 \(RD5@=!4#  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 Bi2 c5[3  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    ^ L]e]<h(  
    光通量
    光栅分布
    ]q~bi<E9W  
    P{x6e/  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 58d[>0Xa[g  
    镜片表面高斯光强分析
    tpb lm|sW  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. \,fa"^8  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE Cs(sar:7  
    S@'%dN6e  
    /Kh,  
    ]}kw'&  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) =Oq *9=v|  
    它有着预期的高斯分布的形状。 16>D?;2o(  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 zu.B>INe  
    输入: e=nvm'[h  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 51u\am'T  
    非常均匀水平的光强分布。 ?5jLN&A3 G  
    1Au+X3   
    DMASK 图像
    : 0 ,yq?M  
    Vef!5]t5  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 v$D U q+  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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