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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 KPUV@eQ,  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 Z4ImV~m  
    $ (x]  
    初始宏文件可以评论区留言获取 e$rZ5X  
    IjnU?Bf  
    `<d }V2rdz  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 kE1TP]|  
    ncT&Gr   
    2.1设计要求
    `e}B2;$A3  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: "3Y0`&:D  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 -zfR)(zG  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: o?Oc7 $+u  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    J5,9_uo]  
    DZtsy!xA  
     a0)QH  
    以上展示部分命令,这其中, DkDmE  
    OBG 的物是高斯光束. 7WzxA=*#  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. s6`?LZ0(z  
    得到的初始结构如下:
    Nu)NqFG,  
    [j+sC*  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 O5BYD=7  
    原因如下: ;#< 0<  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 1T n}  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 5wU]!bxr  
    优化
    NL+N%2XG7  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 E}Uc7G  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 Dk51z@  
    改变高阶项
    5'u<iSmBo  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? ="l/klYV  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 )MT}+ai  
    HELP USS 5146kp|1  
    然后找到类型16。 XC#oB~K'  
    5~DJWi,  
    优化结果
    m+z& Q  
    6[AL|d DK  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 +D*Z_Yh6  
    光通量
    4Ftu  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 rEz^  
    k$:|-_(w  
    p0eX{xm  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? FW DNpr  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 {R{=+2K!|k  
    打开 MMA对话框。 KD.]i' d<  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 P@~yx#G  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 0jWVp- y  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, < I``&>  
    数字化输出, HTTC TR  
    绘制图表。 gI|~|-'  
    w_VP J  
    _7y[B&g[r  
    这是一个表面光栅的分布图。 &mM0AA'\?H  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? vW@=<aS Z  
    <9b &<K:  
    ;}p  
    在 PANT 文件中添加一个变量: sNFlKQ8)Q  
    VY 5 RAD )0k53-h&  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: ]T) 'Hb  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 @IZnFHN  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 bpa?C  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    .*Qx\,  
    光通量
    光栅分布
    ;-Aa|aT!  
     e]$s t?  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 >=w)x,0yX  
    镜片表面高斯光强分析
    O^rDHFj,  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. |JsZJ9W+J  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE KqP#6^ _  
    ;mi%F3  
    akTk(  
    M D#jj3y  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) F((4U"   
    它有着预期的高斯分布的形状。 ;5AcFB  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 qZZK#,Qb  
    输入: cm+P]8o%{  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE j5h-dK  
    非常均匀水平的光强分布。 B`sAk %  
    62NsJ<#>  
    DMASK 图像
    N6TH}~62}  
    JlJ a #  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 PZzMHK?hP  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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