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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 YMAQ+A!  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 hh&Js'd  
    $'$>UFR  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ?0npEz|  
    ,35Ag#va  
    HIPL!ss]  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 $j !8?  
    bhKV +oN  
    2.1设计要求
    +(AwSh!  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: .!j#3J..u  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 h>tsis'N9  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: q)Je.6$#X  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    ^I./L)0= }  
    3o7xN=N  
    |E|T%i^}./  
    以上展示部分命令,这其中, f%1wMOzx  
    OBG 的物是高斯光束. B*Cb6'Q  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. +UaO<L  
    得到的初始结构如下:
    k6g|7^es2  
    U]j&cFbn5_  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 8OBF^r44R  
    原因如下: {Pvr??"r  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 36i_D6  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 B'/Icg.T  
    优化
    dM gbW<uAu  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 J=L`]XE  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 G4"lZM  
    改变高阶项
    h *waRD  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? 1Q_ ``.M  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 165WO}(;/  
    HELP USS D`fc7m  
    然后找到类型16。 r &c_4%y  
    < [ w++F~  
    优化结果
    d5q4'6o,  
    Y(W{Jd+  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 Vd[  2u  
    光通量
    ;y ,NC2Xj  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 4Qhx[Hv>(  
    @d P~X  
    67,3i~  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? /W``LK>;?  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 k2wBy'M .'  
    打开 MMA对话框。 :X|AW?*  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 I &cX8Tw  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 9$EH K  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 1+FYjh!2t  
    数字化输出, T*p|'Q`  
    绘制图表。 L<"k 7)k  
    ] :GfOgo  
    {z-NlH  
    这是一个表面光栅的分布图。 0 c, bet{m  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? s/\XH&KR3V  
    MXh^dOWR  
    /;b.-v&  
    在 PANT 文件中添加一个变量: )e#fj+>x)  
    VY 5 RAD ^U" q|[qy  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: wbl ${@4  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 h FDze  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 6O%=G3I  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    oNrEIgaA(+  
    光通量
    光栅分布
    [6tR&D #K  
    ^]KIgGv\  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 ^CO#QnB @  
    镜片表面高斯光强分析
    kzW\z4f  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. a_xQ~:H  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE kA1f[ AL  
    5wy;8a  
    f*UBigk  
    W&WB@)ie  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) XlE$.  
    它有着预期的高斯分布的形状。 gjO *h3`  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 <r@bNx@T  
    输入: mMn2(  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE }FuVY><l  
    非常均匀水平的光强分布。 s_x=^S3~LO  
    ]w5ji  
    DMASK 图像
    yl[2et  
    Y#GT*V  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 t- !h X/  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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