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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 *Hx{eqC  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 B~K@o.%  
    dY'/\dJ  
    初始宏文件可以评论区留言获取 RwJ#G7S#  
    7t &KKKV  
    #!(OTe L  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 Y -%g5  
    .\K0+b;  
    2.1设计要求
    BO)K=gl;8  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: eT* )r~  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 c@!%.# |y  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: qOAK`{b  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    5]D"y Ay81  
    oKjQ? 4  
    ?*lpu  
    以上展示部分命令,这其中, <RH2G   
    OBG 的物是高斯光束. 5xKo(XNp  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. !?!~8J~  
    得到的初始结构如下:
    J%]< /J  
    `IL''eJug_  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 :%-xiv  
    原因如下: QS.t_5<U  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 Q'xZ\t  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 S?TyC";!  
    优化
    r/E'#5 Q  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 F*Lm=^:  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 &} %rZU  
    改变高阶项
    ig|o l*~  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? E{+V_.tlu  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 S-@E  
    HELP USS g*]Gc%  
    然后找到类型16。 5H8]N#Y&  
    e lj]e  
    优化结果
    (0Buo#I  
    rBR,lS$4  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 \0. c_  
    光通量
    :Z rE/3_S  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 AY3nQH   
    x`:zC#  
    #J&45  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? 5>{  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 <Sw>5M!j  
    打开 MMA对话框。 8:s" ^YLN  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 cF6eMml;  
    Object point (物体坐标)设定为 0, rm}OVL  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 8JYF0r7  
    数字化输出, ~@g7b`t=la  
    绘制图表。 CF"u8yE  
    VsLlPw{  
    DdO$&/`)YP  
    这是一个表面光栅的分布图。 Y*oT (  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? 6%N.'wf  
    p) #7K  
    zg)-RCG  
    在 PANT 文件中添加一个变量: L{XNOf3  
    VY 5 RAD /*,hR>UG  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: Buazm3q8H  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 9a4Xf%!F>z  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 ME'hN->c  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    q0* e1QL  
    光通量
    光栅分布
    ey4RKk,  
    =2-!ay:  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 Q#+y}pOLP  
    镜片表面高斯光强分析
    0|mF /  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. >SS YYy  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE RE*;_DF  
    u/W  
    rK^Sn7U  
    /F/zMZGSA{  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) T4H/D^X|  
    它有着预期的高斯分布的形状。 T&@xgj|!)  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 j A/xe  
    输入: =}SH*xi6  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE /da5 "  
    非常均匀水平的光强分布。 <K6:"  
    {[Bo"a>%  
    DMASK 图像
    2h Wtpus  
    bU3e*Er  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 55aJ =T  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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