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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 o/$}  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 H1pO!>M  
    [fya)}  
    初始宏文件可以评论区留言获取 6y%qVx#!  
    zUkgG61  
    E:sf{B'&  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 N ,'GN[s  
    g|DF[  
    2.1设计要求
    ?*G|XnM&  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: rxgbV.tx  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 Fh?gNSWq6  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: ld|5TN1  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    (Du@ S  
    ~drS} V  
    n71r_S*  
    以上展示部分命令,这其中, LvH 4{B  
    OBG 的物是高斯光束. Gv!2f  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. w=0(<s2  
    得到的初始结构如下:
    'NXN& {  
    v}}F,c(f  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 n Mq,F#`3N  
    原因如下: 8O5s`qKMYT  
    1.光束被扩大了但是并不准直。  acajHs  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 Ex Y]Sdx  
    优化
    k_L7 kvpt  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 9|^2",V  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 <.x{|p  
    改变高阶项
    m)ky*"(  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? $u$!tj  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 y|C(X  
    HELP USS VZp5)-!\  
    然后找到类型16。 guq{#?}  
    &n}]w+w  
    优化结果
    }Sm(]y  
    XO>KZV7)  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 dc+>m,3$  
    光通量
    ;V:i!u u  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 (R[[Z,>w.  
    IA fc T!{  
    g+8OekzB5  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? [SjqOTon{  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 +xh`Q=A  
    打开 MMA对话框。 I13y6= d  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 %^)fmu  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 2prU  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, @+&LYy72  
    数字化输出, P>y@kPi   
    绘制图表。 m<<+  
    sNbxI|B  
    NlA,'`,  
    这是一个表面光栅的分布图。 a kkNI3  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? fF!Yp iI"  
    +RHS!0  
    +C^nO=[E  
    在 PANT 文件中添加一个变量: q\9JgD)  
    VY 5 RAD z 4e7PW|  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: vz@A;t  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 U45e2~1!O  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 lB8-Z ow  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    S^JbyD_yoh  
    光通量
    光栅分布
    ")1:F>  
    y B81f  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 : p1u(hflS  
    镜片表面高斯光强分析
    %HhBt5w  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. 0gu_yg!R  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE s-NX o  
    >1X|^  
    xS5vbJ  
    +i6GHBn~J  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) +X\FBvP&  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ,X?{07gH  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 4V"E8rUL(  
    输入: lwR<(u31e  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE Q8$}@iA[  
    非常均匀水平的光强分布。 Ky`qskvu  
    c rQ8q;:  
    DMASK 图像
    h<h%*av|  
    %6t:(z  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 DVO.FTV^`  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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