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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 hd9fD[5  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 }r`!p5\$K0  
    )vO Zp&  
    初始宏文件可以评论区留言获取 1 Y@6oT  
    Eag->mw/~  
    T2Cdw\  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 #^<7VS!x  
    t-dN:1  
    2.1设计要求
    h3a HCr E  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: &bh?jW  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 9cFFQM|o  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: ^C>i(j&  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    @z$V(}(O^  
    N<Rb<p%  
    Rb<aCX  
    以上展示部分命令,这其中, zF<*h~  
    OBG 的物是高斯光束. Z i$a6  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. V!c{%zd  
    得到的初始结构如下:
    cg7NtY  
    W5$jIQ}Bw  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 \%&QIe;:k  
    原因如下: FOB9CsMe  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 Y%p"RB[  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 Y {Klwn   
    优化
    Gw!jYnU  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 ?YXl.yj  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 ~t<BZu  
    改变高阶项
    Y1{6lhxgE  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? f|?i6.N> f  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 zdyS"H}  
    HELP USS xex/L%!Rj  
    然后找到类型16。 ^O#,%>1J  
    T'\ lntN  
    优化结果
    #$K\:V+ 4  
    6aCAz2 /  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 ; z:}OD  
    光通量
    j!&g:{ e  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 X )fj&  
    \PU|<Ru.  
    9g J`H'  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? 2 'xT%  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 8iK>bp  
    打开 MMA对话框。 Mh>^~;  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 :2 ?dl:l  
    Object point (物体坐标)设定为 0, $tj[ *  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 7 -gt V#  
    数字化输出, 3 _:yHwkD  
    绘制图表。 U;;vNzcn  
    nE Qw6q~je  
    FlD !?  
    这是一个表面光栅的分布图。 JmWN/mx  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? .2!'6;K  
    ff?:_q+.N  
    _R]la&^2F\  
    在 PANT 文件中添加一个变量: p[hA?dXn  
    VY 5 RAD 7O;v5k~iQ  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: "^zxq5u  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 YX18!OhQ  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 \W( C=e  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    <2diO=  
    光通量
    光栅分布
    +MGEO+  
    !(w\%$|  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 ;-n+=@]7  
    镜片表面高斯光强分析
    wR@fB  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. \2: JX?Jw!  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE  -"\z|OQ  
    r?\hZ*|M  
    u <%,Ql  
    (3%NudkwT  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) #`<|W5  
    它有着预期的高斯分布的形状。 cDxjD5E  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 ] 5YG*sD4  
    输入: KFLIO>hE  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE [j eZZB  
    非常均匀水平的光强分布。 J ;i/X;^  
    5bH@R@3m  
    DMASK 图像
    D/9&pRsO  
    IpB0~`7YI  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 BB|w-W=Kd  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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