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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 U8E0~[y'  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 r;9z 5'  
    4AJ9`1d4  
    初始宏文件可以评论区留言获取 5H~@^!7t  
    )4PB<[u  
    _<XgC\4O|  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 "8FSA`>=  
    |l$ u<3  
    2.1设计要求
     -W9gH  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: 3=IG#6)~C  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 L,6MF,vx  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: j+nv=p  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    ~bWhth2*  
    u9BjgK(M  
    R<>tDwsZGa  
    以上展示部分命令,这其中, 3XnE y +  
    OBG 的物是高斯光束. (VEp~BW@-R  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. ,?I(/jI  
    得到的初始结构如下:
    lz- iCZ  
    yk`)Cq%=;  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 ?x'w~;9R/  
    原因如下: <vL}l:r  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 ghX:"vV{n  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 vABXXB  
    优化
    l`* ( f9Q  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 \d:h$  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 6oYIQ'hc  
    改变高阶项
    ERp{gB2U?  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? (xbIUz.  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 y>)MAzz~\  
    HELP USS 4? v,wq  
    然后找到类型16。 ;KL9oV!<f  
    &lUNy L  
    优化结果
    6A.P6DW  
    >r=6A   
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。  J+lGh9G  
    光通量
    (m/aV  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 w1c w1xX*  
    )Y~xIj >  
    lf6|.  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? 'd+:D'  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 y)tYSTJK  
    打开 MMA对话框。 @"w2R$o  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 [1Uz_HY["3  
    Object point (物体坐标)设定为 0, BD4`eiu"  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, V!W1fb7V  
    数字化输出, jAZ >mo[  
    绘制图表。 p0Z:Wkz]  
    }f]b't  
    Ox~ 9_d  
    这是一个表面光栅的分布图。 bb}?h]a   
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? ljuNs@q  
    F(;jM(  
    l 1|~  
    在 PANT 文件中添加一个变量: #cO+<1  
    VY 5 RAD /z#F,NB  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: ld95[cTP  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 mbGcDG[HQ  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 TOrMXcn!/  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    S*xhX1yUi  
    光通量
    光栅分布
    _; 7fraqX  
    xG8`'SNY  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 HS7_MGU  
    镜片表面高斯光强分析
    G0pBR]_5z$  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. UUH;L  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE -Uri|^t  
    VyY.r#@  
    O) 1E$#~  
    j %H`0  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) @iRO7 6m  
    它有着预期的高斯分布的形状。 C38%H  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 t$5jx  
    输入: +aj^Cs1$  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE rFfy#e  
    非常均匀水平的光强分布。 0E1=W 6UZ  
    Z}+yI,  
    DMASK 图像
    @701S(0 '7  
    =U c$D*  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 gB >pd?d  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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