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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 Z-V%lRQ=b  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 fXQRsL8 ]  
    Q";eyYdOL  
    初始宏文件可以评论区留言获取 `cRB!w=KHV  
    )}lV41u  
    M- A}(r +J  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 I=-;*3g6  
    K?I&,t_*R  
    2.1设计要求
    =f|a?j,f~  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: *a.*Ha  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 +Ea X S  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: _YUF /B'  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    n[-!Jp[  
    }Elce}  
    d8I:F9  
    以上展示部分命令,这其中, (`*wiu+i  
    OBG 的物是高斯光束. jzw?V9Ijb  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. nJ@hzK.  
    得到的初始结构如下:
    m^+ ~pC5  
    AXI:h"so  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 "xI[4~'`:  
    原因如下: 2"^9t1C2  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 fe/6JV  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 bS6Yi)p  
    优化
    y?hW#l~#X  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 }A ^,y  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 GjG3aqP&!  
    改变高阶项
    iB-s*b<`~  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? (iP,YKG1?  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 )UUe5H6Hd0  
    HELP USS *5)!y d  
    然后找到类型16。  (La  
    Z;s-t\C  
    优化结果
    b>WT-.b0  
    55\mQ|.Jn  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 i|GC 'XD@  
    光通量
     (v}:  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 zBfBYhS-  
    //|Vj | =  
    @xE Q<g  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? T(DE^E@a  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 w (1a{m?ht  
    打开 MMA对话框。 ,,gYU_V  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 (0S7  
    Object point (物体坐标)设定为 0, H2vEFnV  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, *Yw6UCO  
    数字化输出, AtI,& S#{  
    绘制图表。 .VT,,0  
    `314.a6S  
    Y`uCDfcQ  
    这是一个表面光栅的分布图。 {{\HU0g>&  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? ;q2T*4NN  
    `0F IJT  
    '-=?lyKv  
    在 PANT 文件中添加一个变量: Z)%p,DiNM  
    VY 5 RAD K#@FKv|("  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: "?SnA +)  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 T*m_rDDt  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 vCM'nkXY  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    M;R>]wP"V  
    光通量
    光栅分布
    |(5=4j]  
    p(Mv^ea  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 &PX'=UT  
    镜片表面高斯光强分析
    [@;Z xs  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. >B0S5:S$W  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE mf#oa~_  
    rH,N.H#]  
    ~WSC6Bh@9  
    cf9y0  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) _[W=1bGJ  
    它有着预期的高斯分布的形状。 Wj&s5;2a  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 .PgkHb=l@  
    输入: ;<\*(rUe  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE >\ W" 3.  
    非常均匀水平的光强分布。 & BkNkb0  
    dq2v[? *R  
    DMASK 图像
    }O/Nn0,  
    #~b9H05D  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 ) =[Tgh  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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