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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 6';'pHqe  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 wGE:U`  
    1_THBL26d  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ,Utp6X  
    it!8+hvq9*  
    %zyO}  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 ~fn2B  
    H3}{]&a  
    2.1设计要求
    +s c|PB  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: Nrva?W_i  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 LZV  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: K>9]I97g'  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    I3D8xl>P\  
    )R+@vh#Q<$  
    MVK='  
    以上展示部分命令,这其中, r>sk@[4h  
    OBG 的物是高斯光束. _) 2fXG!  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. IM}T2\tZ}  
    得到的初始结构如下:
    ?&ThMWl  
    0m6Vf x  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 iV[g.sP-  
    原因如下: d {a^  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 +Cl(:kfYB  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 d>eVR  
    优化
    1Dg\\aUk  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 5V4Ze;K  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 `UL #g![J  
    改变高阶项
    as- Z)h[B  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? K_',Gd4L  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 ~sshhuF  
    HELP USS 0#KDvCBJ  
    然后找到类型16。 IL?3>$,  
    c 's=>-X  
    优化结果
    eyy{z;D8r  
    hWwh`Vw%  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 k!b\qS~Q  
    光通量
    jzSh|a9_  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 h}i /u  
    v-J*PB.0p  
    $R%xeih1fz  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? g8 ,V( ^  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 *fso6j#%  
    打开 MMA对话框。 I.A7H'j  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 \,i9m9;y  
    Object point (物体坐标)设定为 0, nV ko]y  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, q [Rqy !,  
    数字化输出, >xws  
    绘制图表。 )uiYu3 I  
    :2{6Pa(eg  
    #"fBF/Q  
    这是一个表面光栅的分布图。 r5> FU>7'  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? lcHw Kd  
    la>:%SD  
    F]\(p=U.  
    在 PANT 文件中添加一个变量: k{(R.gLZG  
    VY 5 RAD b26#0;i  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: wd2GKq!  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 S(eCG2gR  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 B> *zQb2:  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    AHc:6v^  
    光通量
    光栅分布
    im|( 4 f  
    X:bv ?o>Y  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 NypM+y  
    镜片表面高斯光强分析
    MWl?pG!Y  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. #'fh'$5"  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE VliX'.-  
    :0x,%V74_!  
    <|[G=GA\S!  
    losm<  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) Ppi/`X  
    它有着预期的高斯分布的形状。 je@F:5  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 16ahU$@-  
    输入: $$ouqLu  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE Rd@34"O  
    非常均匀水平的光强分布。 iz!E1(z(  
    l{ja2brX  
    DMASK 图像
    m/RX~,T*v&  
    S7]\tw_L)  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 Jn3cU  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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