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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 ^;3z9}9  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 D<[4}og&]  
    zh$[UdY6  
    初始宏文件可以评论区留言获取 R>"E Xq  
    '#SacJ\L7  
    ]@op  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 .`!|^h%0  
    |X9YVZC  
    2.1设计要求
    Ox"4 y  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ;l_%;O5  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 Urhh)i  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: W'\{8&:!  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    pR8]HNY0  
    Sd.i1w &  
    m :ROq  
    以上展示部分命令,这其中, M:W9h+z  
    OBG 的物是高斯光束. ^5biD9>M  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. o<e AZ  
    得到的初始结构如下:
    ?lzg )88I  
    EA 4a Z6%  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 6uQfe? aD  
    原因如下: Cw]Q)rX{  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 g2 uc+p  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 A%n l@`s,  
    优化
    -OZRSjmY  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 b0]y$*{j  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 2.Ym  
    改变高阶项
    R|h9ilc  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? >Qc0g(w  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 t &u,Od  
    HELP USS q('O@-HA  
    然后找到类型16。 A'qJke=  
    w,]cFT  
    优化结果
    ]yN]^% PYH  
    'DlY8rEGP  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 +bvY*^i  
    光通量
    )Y@  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 GVZ/`^ndM  
    -[~UX!XFM  
    $O&P@8:Z  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? yNAvXkp  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 ;Gxp'y  
    打开 MMA对话框。  %"j<`  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 -MoI{3a  
    Object point (物体坐标)设定为 0, zT0rvz1),M  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, y}ez js  
    数字化输出, x=yBB;&  
    绘制图表。 ?3Wh. %n  
    GAbX.9[V  
    Os9xZ  
    这是一个表面光栅的分布图。 zl46E~"]x  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? [g/Hf(&  
    c]F$$BT  
    FJo N"X  
    在 PANT 文件中添加一个变量: Uf{cUY,j_  
    VY 5 RAD Q4-d2I>0  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: R_.C,mR ?  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 [zIX&fPk$  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 gKcP\m  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    "ji4x y  
    光通量
    光栅分布
    mkTf}[O  
    W'rft@J$  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 |vA3+kG  
    镜片表面高斯光强分析
    gSK (BP|  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. k&ujr:)5Y5  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE X1!m ]s(I  
    N%/Qc hu  
    e-H:;m5R  
    !NK8_p|X  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) ;%odN d  
    它有着预期的高斯分布的形状。 8$-Wz:X&  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 ho ?.\Jq  
    输入: VR2BdfKU,  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE "EF: +gi#"  
    非常均匀水平的光强分布。 c, \TL ]  
    z m\=4^X  
    DMASK 图像
    )!hDF9O  
    4vPQuk!  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 dgE|*1/0  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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