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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 L~ &S<5?  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 \Tz|COG5h\  
    'Dfs&sm  
    初始宏文件可以评论区留言获取 RE t&QP  
    $1])>m_ct  
    }U7IMONU  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 N]W*ei  
    F8w7N$/V",  
    2.1设计要求
    2O kID WcM  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: 1| sem(t  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 )?72 +X  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: I$"Z\c8;  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    H>+/k-n-  
    'dj3y/ k%  
    I "x'  
    以上展示部分命令,这其中, )>ff"| X  
    OBG 的物是高斯光束. ,ojJ;w5D  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. 1EV bGe%b  
    得到的初始结构如下:
    L\4rvZa  
    ;<i u*a  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 DGJ:#U E  
    原因如下: XoyxS:=>|[  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 g V]4R"/  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 O<vBuD2  
    优化
    0L>3 i8'  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 EeYL~ORdi  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 WoXAOj%iW  
    改变高阶项
    g+o$&'\  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? 8$-MUF,  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 *A9v8$  
    HELP USS HK[%'OQ  
    然后找到类型16。 ^$oa`B^2JM  
    ^6Aa^|  
    优化结果
    3Y P! B=  
    qBk[Afjgz  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 ,i*rHMe  
    光通量
    tM5(&cQ!d  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 XB'rh F8rl  
    [ &Wy $  
    Xf;!w:u  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? 1'~+.92Y  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 ?Z|y-4 &>  
    打开 MMA对话框。 }<G a e5  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 "pt[Nm76)8  
    Object point (物体坐标)设定为 0, |e8A)xM]wC  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, nWelM2  
    数字化输出, Z( :\Vj"  
    绘制图表。 z\v  
    :/6:&7s  
    =F[M>o  
    这是一个表面光栅的分布图。 og$dv 23  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? uhq6dhhR  
    ]9 @4P$I  
    86%k2~L  
    在 PANT 文件中添加一个变量: /;_$:`|/  
    VY 5 RAD 0of:tZU  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: UVXruH  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 u9;3Xn8  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 O#tmB?n*  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    ->|eMV'd  
    光通量
    光栅分布
    em'3 8L|(  
    #p"F$@N   
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 Tx ?s?DwC  
    镜片表面高斯光强分析
    tQj=m_  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. ft8  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE $I`,nN  
    v*excl~  
    =YYqgNz+\w  
    ~DLxIe  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) Iv7BIK^0  
    它有着预期的高斯分布的形状。 bIt{kzuQC  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 :qXREF@h  
    输入: tklS=R^Vn  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE f:q2JgX  
    非常均匀水平的光强分布。 d;%~\+)x4  
    5UL5C:3R9  
    DMASK 图像
    Gyu =}  
    #~*v*F~3  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 -XECYwTh  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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