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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 Ce`{M&NSWX  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ^>k[T.  
    DSET!F;PG  
    初始宏文件可以评论区留言获取 t0}3QGf;c  
    . 6Bz48*  
    4-cnkv\~  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 M;3uG/E\  
    J. {[>  
    2.1设计要求
    M@{GT/`Pf  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: X g.\B1d  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 &t%ICz&3  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: Mx$VAV^\  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    6!b96bV  
    BnAia3z  
    ogjm6;  
    以上展示部分命令,这其中, ot-!_w<  
    OBG 的物是高斯光束. _=4Dh/Dv  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. 1 ht4LRFi  
    得到的初始结构如下:
    wf8vKl#Kfw  
    `iQyKZS/+  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 rj<%_d'Z`  
    原因如下: ^qV*W1|0  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 d [K56wbpx  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 8(uxz84ce  
    优化
    P1z6 sG G  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 _!w# {5~  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 4*m\Zoq>  
    改变高阶项
    qj/ 66ak  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? CBi V':;  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 . KRh59yg  
    HELP USS 0g`WRe  
    然后找到类型16。 \<;/)!Nmw  
    !BK^5,4?--  
    优化结果
    7jEAhi!Cq(  
    1a#wUd3  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 <}i\fJX6  
    光通量
    "$ u"Py  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 ap_(/W  
    r1F5&?{q  
    1v,4[;{  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? 5/neV&VcB  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 SM0=  
    打开 MMA对话框。 ]iPTB  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 i-tX5Md|  
    Object point (物体坐标)设定为 0, V&\ZqgDF  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, :Wb+&|dU  
    数字化输出, ]RGun GJ  
    绘制图表。 lc[\ S4  
    Z>Sv[Ec  
    !f_Kq$.{  
    这是一个表面光栅的分布图。 PJkEBdM.  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? J*$ !^\s  
    >Q"eaJxE!l  
    F+c*v#T  
    在 PANT 文件中添加一个变量: /R F#B#9  
    VY 5 RAD Yckl,g_  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: {^$rmwN  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 JX>_imo  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 #[Ns\%Ri0  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    Av+R~&h  
    光通量
    光栅分布
    >f}rM20Vm  
    !U=;e?o  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 :c<C;.  
    镜片表面高斯光强分析
    3osAWSCEL  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. /UM9g+Bb  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE E-Cj^#OY|N  
    &hqGGfVsd  
    wGb{O  
    |)GE7y0Q  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) H:p(C?tk{  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ><^A4s  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 +| Cvv]Tx1  
    输入: 5?6 ATP:[  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE rK)%n!Z  
    非常均匀水平的光强分布。 &bA;>Lu#|o  
    YwHnDVV+  
    DMASK 图像
    d4A}BTs1  
    .>h|e_E  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 CDR^xo5 dP  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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