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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 3cztMi  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 #7~i.8L  
    I];Hx'/<~  
    初始宏文件可以评论区留言获取 V3]"ROH  
    '5vgpmn  
    kb>/R/,9  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 DTw3$:  
    Gj}P6V _  
    2.1设计要求
    L8zY?v(bG  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ]/y&5X  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 ;2=H7dq  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 1*!`G5c,}  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    38hAg uZX  
    SmJ6Fm6  
    G()- NJ{  
    以上展示部分命令,这其中, <r%QaQRbm  
    OBG 的物是高斯光束. M6+_Mi.  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. ,Uh7Q-vd  
    得到的初始结构如下:
    fy`e)?46  
    tE: m& ;I  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 e2v[ma-  
    原因如下: 7TC=$y ,  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 O)tZ`X;  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 1x^(vn#=  
    优化
    >|[74#}7  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 JRC+>'}Xj  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 )D:I@`*  
    改变高阶项
    9 OC!\' 8  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? |W/_S^C  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 x@I(G "  
    HELP USS #.(6.Li  
    然后找到类型16。 xM/B"SG2  
    YAIDSZ&l[  
    优化结果
    s C9j73 vf  
    (Hcd{]M~  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 s9wc ZO  
    光通量
    Vc! ;O9dP  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 /8GgEW9Q~G  
    ueiXY|  
    yB7=8 Pcx  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? ^fLePsmd  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 A(mU,^  
    打开 MMA对话框。 wPn#>\/L  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 ;^Vsd\ac0  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 8gv \`  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, B?nQUIb:  
    数字化输出, l!plw,PYC  
    绘制图表。 1A4!zqT;  
    !po8[fz~x  
    vMiZ:*iaj@  
    这是一个表面光栅的分布图。 g3%Xh0007{  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? !79^M  
    LFCcV<~  
    M%dXy^e  
    在 PANT 文件中添加一个变量: 5'/Ney9N  
    VY 5 RAD ^G+1nY4? J  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: %&+j(?9  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 #ra~Yb-F  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 2Y)3Ue  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    :h tOz.  
    光通量
    光栅分布
    !_VKJZuH  
    a a=GW%  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 k[]B P4  
    镜片表面高斯光强分析
    $!L'ZO1_r  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. .$/Su3]K/  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE y]B?{m``6  
    ,~-"EQT  
    9Xt5{\PJ  
    GqXnOmk  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) y#5xS  
    它有着预期的高斯分布的形状。 )oJn@82C|  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 kzqW&`xn?  
    输入: X !g"D6'  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE Gpws_ jw  
    非常均匀水平的光强分布。 wRn]  
    ~F^(O{EG  
    DMASK 图像
    %O`e!p  
    31 \l0Jg  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 Z~o6%_xe  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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