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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 |"7Pv skT  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 a:!uORQby  
    @PkJY  
    初始宏文件可以评论区留言获取 |m>}%{  
    Ej(2w Q  
    ]#eh&jw  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 n Y w\'c  
    :hqZPajE  
    2.1设计要求
    pO/%N94s  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ?T'][q  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 MK$Jj "  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: Jbw!:x [  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    EQ >t[ &  
    [?KIN_e#  
    G2Qjoe`Uc  
    以上展示部分命令,这其中, F+aQ $pQ  
    OBG 的物是高斯光束. wyQb5n2`;~  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. Yv\!vW7I  
    得到的初始结构如下:
    Gp2!xKgm  
    }[=YU%[o:  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 HtBF=Boq  
    原因如下: <0j{ $.  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 <|F-Dd  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 4<gJ2a3  
    优化
    /^<en(0=P  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 #+jUhxq  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 MOZu.NmO  
    改变高阶项
    y:so L:(F  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? S!dHNA:iU  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 mnQ'X-q3iO  
    HELP USS oXal  
    然后找到类型16。 __\P`S_  
    ^#SBpLw  
    优化结果
    A~71i&  
    ;h=S7M9.  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 2P}I'4C-  
    光通量
    PZOORjF8A  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 I,P!@  
    >4)g4~'n!  
    )/Y~6A9>  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? $h[Yzl  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 5' \)`  
    打开 MMA对话框。 5 si}i'in  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 zO.6WJ  
    Object point (物体坐标)设定为 0, eE3-t/=  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, [thboP.?  
    数字化输出, azGn P3_  
    绘制图表。 *x,HnHT  
    #93}E Y  
    P;GprJ`l  
    这是一个表面光栅的分布图。 Vyt E  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? u4"r>e6 _B  
    $ I<|-]u  
    m5gI~1(9  
    在 PANT 文件中添加一个变量: mw+j|{[  
    VY 5 RAD .TN2s\:]jw  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: Je~p%m#e;K  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 {j@+h%sF>+  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 pt})JMm  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    ,cQA*;6  
    光通量
    光栅分布
    qJ Gm8^b-  
    .<w)Bmh  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 `o-*Tr  
    镜片表面高斯光强分析
    cjY@Ot*i$  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. )%#?3X^sI  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE ;&mxqY8`'  
    O5MDGg   
    6Ct0hk4  
    VM;g +RRq  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) .0 X$rX=  
    它有着预期的高斯分布的形状。 m/?h2McS  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 <9N4"d !A  
    输入: ;Jo*|pju  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 32y[  
    非常均匀水平的光强分布。 yA}nPXrd  
    Rp4FXR jC  
    DMASK 图像
    Wa, 7P2r  
    D pNX66O  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 /j %_t  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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