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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 6pS Rum  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ;9 R40qi  
    UYl JO{|a  
    初始宏文件可以评论区留言获取 _6| /P7"  
    #`2GAM];7  
    :s? y,  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 L'zdsa}Et  
    `z5v}T  
    2.1设计要求
    X/K| WOO6  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: &Qz"nCvJ  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 F&-5&'6G+  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 06Sqn3MB  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    >f3k3XWRT  
    }P7xdQ6  
    =#J 9  
    以上展示部分命令,这其中, %Td+J`|U+  
    OBG 的物是高斯光束. eo-XqiJ,]  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. Yk x&6M@t  
    得到的初始结构如下:
    :6qUSE  
    ^2P;CAjj-  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 9$}+-Z  
    原因如下: p=je"{  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 (2&K (1.Y  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 JT}dor  
    优化
    KX&Od@cQ$  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 1WZKQeOo  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 Fvcq^uZ  
    改变高阶项
    7~QwlU3n<F  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? rl_1),J\qG  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 4{1c7g  
    HELP USS +K @J*W 1  
    然后找到类型16。 \q>e1-  
    -#:Y+"'  
    优化结果
    ?3e!A9x  
    cJ1{2R  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 \ltErd-  
    光通量
    !'c6Hs  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 4 g/<).1<b  
    w96j,rEC  
    -b Ipmp?  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? gPn%`_d5  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 U{.+*e18  
    打开 MMA对话框。 =!Baz&#}  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 zYNM<W;  
    Object point (物体坐标)设定为 0, (>kBmK1Aj  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, Z\o AE<$  
    数字化输出, pU\xzLD  
    绘制图表。 _dB0rsCnU%  
    0n=9TmE  
    QvT-&|  
    这是一个表面光栅的分布图。 ({}O M=_  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? 9X*eE  
    x Jj8njuq4  
    2Q;Y@%G  
    在 PANT 文件中添加一个变量: )x5$io   
    VY 5 RAD KX=:)%+  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: 5O4&BxQ~}  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 FK/ro91L  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 OM#OPB rB  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    tkUW)ScJ  
    光通量
    光栅分布
    faKrSmE!  
    =QO1FO  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 :@z5& h  
    镜片表面高斯光强分析
    a)yNXn8E_  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. OD2ai]!v+  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE 4jZi62  
    ct|'I]nB.h  
    LQ&d|giA  
    4<K ,w{I  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) Wy0a2Ve  
    它有着预期的高斯分布的形状。 MX< ($M  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 k%4A::=  
    输入: }Rf :DmPE  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE Wcay'#K,  
    非常均匀水平的光强分布。 QP-<$P;~  
    o^"d2=  
    DMASK 图像
    e&]`X HC9  
    b~jvmcr  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 86) 3XE[ 5  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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