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摘要 KXFa<^\o 2h6F j& 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <`9:hPp0 #zt+U^#)
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6 [P{Xg:0 建模任务 \9/n~/{ Zy7@"C EX&y
! 光栅特性与参数的严格分析 _H8)O2mJ (|5g`JDG 不同光栅周期下的衍射效率 %3VwCuE u-k?ef
Rb~Kyy$ m x,X!} 关于光栅周期选择的考虑 9HEc=,D| 6<t\KMd
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Z?Q2 ed*j B6pz1P?e} 制造公差分析 8\V-aow *nC,=2
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•构造光栅结构 ?7p|
F^ −通过使用界面来配置光栅结构 [:=[QlvV [用例] Kk(ucO •分析光栅衍射效率 GJuD
: −光栅级次分析器[用例] /uc/x+(_ •使用参数运行搜索初始解决方案 Iw:("A&~ −参数运行文档的使用[用例] C/vLEpP{(/ •通过参数优化找到最终设计 U+RPn?Q }2.}fHb2 VirtualLab Fusion技术 9]w0zUOL6 \O?B9_
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