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摘要 m1Y a n-cI~Ax+4 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Pg(Y}Tu $jE<n/8
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h]ae^M 建模任务 vu\W5M *$fM}6} o?>0WSLlm 光栅特性与参数的严格分析 f/UU{vX( B?=R= p 不同光栅周期下的衍射效率 !~~KM?g s_IFl5D]
&|GH@^)@ )__sw 关于光栅周期选择的考虑 r*vh3.Agl >*ls}
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JR.)CzC I!*P' {lh 偏振相关的衍射特性 K?'m#}] 8$_{R!x
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2D参数优化–设计1 ZL<X*l2 x;u#ec4
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D}y W:Pi' gxVr1DIkN 制造公差分析 <jV,VKL# (2H
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lg-_[!4Z yk?bz 走进VirtualLab Fusion HC$%"peN1b N~$>| gn
;99oJD, p"%D/-%Gu VirtualLab Fusion中的工作流程 crb^TuN uxTgK'3
)]C]K B "ZGP,=?y2 •构造光栅结构 )^o.H~Pv −通过使用界面来配置光栅结构 ,.9 lz [用例] Uyb0iQ-,s •分析光栅衍射效率 `qs,V −光栅级次分析器[用例] SDC|>e9i •使用参数运行搜索初始解决方案 ;9z|rWsF −参数运行文档的使用[用例] 3Sfd|0^ •通过参数优化找到最终设计 J "I,] p}!i_P VirtualLab Fusion技术 /lC# !$9vz *zPqXtw!j
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