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摘要 e=4+$d k]5Bykf`Ky 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \[gReaI QmLF[\Oo_
0A,]$Fzt Ps%qfL\ 建模任务 0Z0:,! S,<EEtXQ F>]m 3( 光栅特性与参数的严格分析 ,WJH}(h"D oqLfesV~ 不同光栅周期下的衍射效率 KN tt UW9?p}F
~zSCg|"r }0u8r` 关于光栅周期选择的考虑 (9<guv K_2|_MLlZ
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Tszp3,]f C4hx@abA 通过参数优化进行光栅设计 >nw++[K_ ;Ra+=z}> 固定周期的2D参数优化 Q%wY vfl5Mx4
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E\IlF 6 H(Q.a=&4!p 制造公差分析–设计2 *;m5'}jsy zoDH` h_
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\~BDm H)aQ3T4N5 •构造光栅结构 w|CZ7|6 −通过使用界面来配置光栅结构 quvanxV-L [用例] @ JvPx 0 •分析光栅衍射效率 ;L|uIg;.s −光栅级次分析器[用例] ?7M.o •使用参数运行搜索初始解决方案 0<8XI>.3D −参数运行文档的使用[用例] 70lfb` •通过参数优化找到最终设计 "Tm[t?FMbe ]$p{I)d& VirtualLab Fusion技术 RN)dS>$ M\Gdn92pd
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