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摘要 92N `Q} Hq?dqg' %~ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 G
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<^942y-= N-Bw&hEZ 建模任务 ^ ]+vtk pwB>$7(_h !\OX}kHX5 光栅特性与参数的严格分析 ivt ~S i'1MZ%. 不同光栅周期下的衍射效率 -3m!970 8.7lc2aX
M=4b @~&^1%37) 关于光栅周期选择的考虑 Q~rE+?n9F g;7u-nP
Qv]rj]% Jc` tOp5 偏振相关的衍射特性 K*p3#iB [dqh-7
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cJM.Q_I}Y T{=&>pNK[ 通过参数优化进行光栅设计 9oG)\M.6w VtGZB3 固定周期的2D参数优化 p9S>H IABF_GwF
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iO2jT+i 2(Aw VirtualLab Fusion中的工作流程 s=556 W! J@30
#q xo1uV(c 4U u`1gtz •构造光栅结构 ud"Kko Rt −通过使用界面来配置光栅结构 o7eWL/1 [用例] oY7jj=z#T •分析光栅衍射效率 ;82?ACCP −光栅级次分析器[用例] v2="j •使用参数运行搜索初始解决方案 mU.c!|Y −参数运行文档的使用[用例] \0&F'V •通过参数优化找到最终设计 rZE+B25T~ {kr14l*2 VirtualLab Fusion技术 q1m{G1W
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