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摘要 Q.7Rv
XNw8 'g$~ij ;x 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 O&.^67\| dd>|1'-]
2+M(!FHfy O@{ JB 建模任务 >d!w&0z> Vy.A`Hz =K I4 光栅特性与参数的严格分析 }00mJ]H( M p:c. 不同光栅周期下的衍射效率 @a#qq`b; j*t>CB4
4Z)`kS}=] /Mb?dVwA 关于光栅周期选择的考虑 \u?z:mV U>7"BpC
[7q~rcf,Z 3P 3x^NI 偏振相关的衍射特性 XeX0\L')R fIN8::Cs[
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O|m-Uz"+ z=<x.F 通过参数优化进行光栅设计 1v!Xx+} } R!-*Wk 固定周期的2D参数优化 {LYA?w^GT ,uqSq
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*X8<hYKZq mwVH>3{j 制造公差分析–设计2 :]iV*zo_ #X'!wr|-
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)u •构造光栅结构 ^_
L'I%%[ −通过使用界面来配置光栅结构 CM?dB$AwX [用例] >Pj ?IE6 •分析光栅衍射效率 <gRv7 ?V[z −光栅级次分析器[用例] Fl<|/DCg •使用参数运行搜索初始解决方案 S"0<`{Gv −参数运行文档的使用[用例] =u
W+>;] •通过参数优化找到最终设计 ;4p_lw@ 8sjAr.iT. VirtualLab Fusion技术 I!3qb-.Q :S'P
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