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摘要 s F!nSr X0&[cyP! 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *L+)R*|:& Q3P*&6wA
#Ks2a):8 #57D10j 建模任务 a%NSL6 m6iQB\ \ 5fuB((fd( 光栅特性与参数的严格分析 k]] e8> TZ>_N;jTZ 不同光栅周期下的衍射效率 TBr@F|RXiO IWs)n1D*]
sUTfY|<7| E(/M?>t- 关于光栅周期选择的考虑 @p$$BUb Kq4b`cn{_
l/ :23\ M~"93 Q`f^ 偏振相关的衍射特性 si,W.9rU ")i>-1_H
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\a81 通过参数优化进行光栅设计 qdY*y&}"J iW$f1=i 固定周期的2D参数优化 ZgH(,g,TU Hy|
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! •构造光栅结构 3wf&,4`EX −通过使用界面来配置光栅结构 7v{s?h->$ [用例] TeXt'G=M •分析光栅衍射效率 hCFgZiH2 −光栅级次分析器[用例] D/x!`&.sN •使用参数运行搜索初始解决方案 }=T=Z#OgH −参数运行文档的使用[用例] 1xsIM'& •通过参数优化找到最终设计 #cdrobJ ~]LkQQ' VirtualLab Fusion技术 B?pNF+?'z RwyRPc_
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