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摘要 t/i5,le R/b4NGW@ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8Q`WB0E<| ]J1S#Q5'
Zwt; d5U %6j)=IOts 建模任务 JEn3`B!* 6Q|k7*,B
ye6H*K 光栅特性与参数的严格分析 Ru!He,k7 Rxpn~QQ 不同光栅周期下的衍射效率 XP[uF ;w 7;`o(
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DG)g3# ,M !tm7 关于光栅周期选择的考虑 6"T['6:j 2 mjV~
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"tit\a6\( qMBR *f 2D参数优化–设计2 z"4]5&3A Cm$1$?J
f},oj4P\ 0X2@CPIFf 制造公差分析–设计2 Q~D`cc|] dGfVZDsr]
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JwX[\ l*b)st_p% 变化光栅周期的3D参数优化 3CjL\pIC 8{U-m0v
gJt`?8t hlZ@Dq%f 制造公差分析 {Ee>n^1 Q "r_!f
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8qi+IGRg Sgb*tE)T VirtualLab Fusion中的工作流程 nq}Q EY`H}S!xy
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2qGC ER2GjZa\z •构造光栅结构 g3@Rl2yQJ −通过使用界面来配置光栅结构 =!Vf [用例] 9_ICNG% •分析光栅衍射效率 :R6bq! −光栅级次分析器[用例] c9' ' •使用参数运行搜索初始解决方案 +YOKA* −参数运行文档的使用[用例] PeX1wK%f •通过参数优化找到最终设计 |4) yDb'7(3- VirtualLab Fusion技术 xieP "6 Y-piL8Xc
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