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摘要 m4<5jC`-M S{q c1qj 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8{t^< j$n Ob+Rnfx37
<;R}dlBASW 9uNkd2# 建模任务 Ju"*;/ !m*
YPY31 |A'y|/)#Z 光栅特性与参数的严格分析 DaN=NURDV OVo3. 不同光栅周期下的衍射效率 Z/r =4 mip2=7M|C
su/!<y jc4#k+sb 关于光栅周期选择的考虑 5-3.7CO$ bI_6';hq!
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(SEE(G35 偏振相关的衍射特性 aw\\oN* _:B/XZ
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9ff6Apill qPn}$1+~ 通过参数优化进行光栅设计 <?Z [X{ Z8 X=Md8= 固定周期的2D参数优化 Aa.eu=@I 8zMt&5jD
>o]!-46 2D参数优化–设计1 ?=bqya"Y ,v#F6xv8
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ou +.EP_2f9 •构造光栅结构 c*k%r2' −通过使用界面来配置光栅结构 V,*<E &+ [用例] \~(scz$ •分析光栅衍射效率 ]52.nxs~ −光栅级次分析器[用例] '[Ue0r<jn •使用参数运行搜索初始解决方案 ~l^Q~W-+ −参数运行文档的使用[用例] x A&RMu& •通过参数优化找到最终设计 e#5LBSP @U 6jd4?) VirtualLab Fusion技术 YLx4qE o4zX
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