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摘要 {,e-; 2q a}'dIDj 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 c6MMI]+8
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 hWRr#03 0 6sNw#pqh 建模任务 T< o8lL G)&S%R!i\N  WO[O0!X 光栅特性与参数的严格分析 X> U _v 9rgvwko 不同光栅周期下的衍射效率 ,7SqR Y,+ `':G92}#
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E>bpq ^;r 关于光栅周期选择的考虑 P$6 P e> 3
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 %;b] k 0 t6DD 通过参数优化进行光栅设计 v>0} v)<v __`6 W1 固定周期的2D参数优化 }N"YlGY\Yn KxQMPtHstz
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 _}tPtHPa/ :-o MkBS VirtualLab Fusion中的工作流程 XHh*6Yt_ (
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 ^7YZ>^ .z^O y_S{ •构造光栅结构 DC0O N`
−通过使用界面来配置光栅结构 SNSHX2
[用例]
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•分析光栅衍射效率 Y I2x*t!
−光栅级次分析器[用例] M,<UnAVP-
•使用参数运行搜索初始解决方案 Ezr q2/~Q
−参数运行文档的使用[用例] \cK# /;a#
•通过参数优化找到最终设计 ~Gl5O`w( u-*z#e_L0 VirtualLab Fusion技术 &ju.5v| rA}mp]
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