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摘要 ,Qe`(vU*s +#'QP# 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \nV oBW(
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3 光栅特性与参数的严格分析 Y:'c<k &gm/@ _ 不同光栅周期下的衍射效率 % o0.8qVJi 3e^'mT
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gD6BPW~0 关于光栅周期选择的考虑 G{ |F V
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 h"Q&E'0d H*dQT y, 通过参数优化进行光栅设计 fbW#6:Y akA C^: F 固定周期的2D参数优化 JvLa@E ) \RTX fe-`
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KY;E. D` 5fa_L'L# 制造公差分析–设计2 T k>N4yq
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 I#hzU8Cc ~4~>; e 变化光栅周期的3D参数优化 L~( `zO3f
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 x:Kca3p v_ D8Vb@5MW VirtualLab Fusion中的工作流程 R|AG N*.
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 6*2z^P9FRj ve / Q6j{ •构造光栅结构 SQ bnn"
−通过使用界面来配置光栅结构 &wZ:$ lK#o
[用例] 0$l D
•分析光栅衍射效率 ~?{@ 0,$
−光栅级次分析器[用例] yeNC-U<
•使用参数运行搜索初始解决方案 }3! .e
−参数运行文档的使用[用例] U(=cGA.$
•通过参数优化找到最终设计 iwfv t^ 2$? )VXtw VirtualLab Fusion技术 U;4:F{3m
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