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摘要 K *@?BE f(Xin3#' 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T9yI%;D
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B 建模任务 v}DNeIh~ NS[ Z@ @  1uo- ?k 光栅特性与参数的严格分析 O60T.MM` OLG)D#m(4/ 不同光栅周期下的衍射效率 mS%4 A ROHe
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 kh}h(z^ -I4@6v E, VirtualLab Fusion中的工作流程 zZd.U\"2
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 |Fx *,91 W2`3PEa •构造光栅结构 E;H9]*x/
−通过使用界面来配置光栅结构 U
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[用例] 3 K||(
•分析光栅衍射效率 VOYQ<tg
−光栅级次分析器[用例] zv"N bN
•使用参数运行搜索初始解决方案 {.U:Ce
−参数运行文档的使用[用例] X6}W]
•通过参数优化找到最终设计 aQHR=.S]X k v_t6 (qd VirtualLab Fusion技术 h143HXBi1+ N*[b 26
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