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摘要 Cm)_xnv ]WZ_~8 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0Vu&UD A4!IbJD,0
0XwDk$l< 'C=8. P? 建模任务 ;uw`6 KJ o)w8 ]H/ 9G)Sjn`AQ 光栅特性与参数的严格分析 gcLwQ- Fqtgw8 不同光栅周期下的衍射效率 S 6e<2G=O V?KACYd@O
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I3 wF B^4D`0G[4 关于光栅周期选择的考虑 HEZgHL 9OIX5$,S;
Rx';P/F0C V=#L@ws 偏振相关的衍射特性 4=]CA O=O 6k?,'&z|~
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5_4Y/2_| ;Dl< GW3< 通过参数优化进行光栅设计 %;5AF8# c x9fNIuAQ 固定周期的2D参数优化 *Q=3v ?Bg<74
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yGN@Hd:9 U1&pcwP •构造光栅结构 R#ayN* −通过使用界面来配置光栅结构 &<</[h/B/F [用例] 2l43/aCq •分析光栅衍射效率 uo`O$k<; −光栅级次分析器[用例] #&+0hS •使用参数运行搜索初始解决方案 l#8SlRji −参数运行文档的使用[用例] FU-YI" •通过参数优化找到最终设计 H ]BH Wb! "L`m VirtualLab Fusion技术 "zSi9]j :r^c_Ui
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