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摘要 N;k )> B2|0.G|[j 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @^o7UzS4z WW2hwB(
CGkx_E] H6Bw3I[ 建模任务 u?H.Z uPjp5;V 3s67)n 光栅特性与参数的严格分析 Ob}XeN(L3 pjs4FZ`Pd; 不同光栅周期下的衍射效率 L./c#b!{ ei{tW3
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/+8VW;4|I cbs ; 关于光栅周期选择的考虑 '@Yp@
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WtaOf_ -GM"gkz 偏振相关的衍射特性 Z0<s
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sriDta?Cz j>uu3ADd2 通过参数优化进行光栅设计 ek]nLN u6Wan*I? 固定周期的2D参数优化 >,h{` >d
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&q9=0So4\ nk7>iK!i 制造公差分析 xkax F",TP,X
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,\c V,$ t[|t0y8 •构造光栅结构 HGh
-rEh −通过使用界面来配置光栅结构 19c_=$mV [用例] bgKC^Q/F •分析光栅衍射效率 }+G5i_a −光栅级次分析器[用例] N3aqNRwlk •使用参数运行搜索初始解决方案 x<Gjr} −参数运行文档的使用[用例] >u(^v@Ejf •通过参数优化找到最终设计 qNP)oU92 O(!;7v} VirtualLab Fusion技术 L8!yP.3 i*m;kWu,
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