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摘要 ~y/qm
[P }*vE/W 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (?i4P5s[! BHU=TK@GR
<L2z| %` 14(ct 建模任务 ~
cI`$kJ db>"2EE 0%yPuY> 光栅特性与参数的严格分析 Jn9{@?? &gI*[5v
不同光栅周期下的衍射效率 Fz5eCe\B J6@RIia
Fu[GQ6{f &3itBQF 关于光栅周期选择的考虑 z9v70
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g'EPdE 偏振相关的衍射特性 O@skd2 iEbW[sX[4
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Gq7\b({= V5 Gy|X 通过参数优化进行光栅设计 4Vd[cRh2 TeyFq0j@' 固定周期的2D参数优化 OUN"'p%% KXBTJ&
GKG:iR) 2D参数优化–设计1 K1o&(;l8G V8Z@y&ny
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khQfLA WJ\,Y} J •构造光栅结构 w!}kcn< −通过使用界面来配置光栅结构 m,F4N$ [用例] p.,`3"C1 •分析光栅衍射效率 C @P$RVS −光栅级次分析器[用例] V]Uc@7S/ •使用参数运行搜索初始解决方案 r]S"i$ −参数运行文档的使用[用例] p#>,{ •通过参数优化找到最终设计 ?` 2z8uD/ K'[kl' VirtualLab Fusion技术 -JclEp w ;:{
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