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摘要 6"eGd" ~SP.&>Q> 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %|oY8;0|A>
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 LDr!d1A a5z.c_7r 建模任务 9?bfZF4A= C6CX{IA]  44RZk|U1J{ 光栅特性与参数的严格分析 U -X m'oVqA& 不同光栅周期下的衍射效率 3 +BPqhzf 9j$
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 htMsS4^Kvd j)'V _@ •构造光栅结构 kH-1l>":
−通过使用界面来配置光栅结构 [WY
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[用例] \dbpC Z
•分析光栅衍射效率 0pBlmPafY
−光栅级次分析器[用例] A9p$5jt7
•使用参数运行搜索初始解决方案 f*2V
−参数运行文档的使用[用例] #s(B,`?N
•通过参数优化找到最终设计 P,_GTs3/G 7.8ukAud VirtualLab Fusion技术 8k H'ai s:jr/ j!
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