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摘要 Xk!wT2; Xl:. `{5L 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tUt_Q;%yC
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 T gl > J9MA nYd)i 建模任务 ^ *w}+tB eD8e0
D'S  aW}d=y[ 光栅特性与参数的严格分析 axOEL:-|Bu Ckc5;:b&m 不同光栅周期下的衍射效率 [^W
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X]o"4#CQIX 关于光栅周期选择的考虑 yy+:x/(N[
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vYG#S |3^U\r^zo 通过参数优化进行光栅设计 9s*QHCB0 v^)B [e! 固定周期的2D参数优化 @vB-.XU !K0 U..
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 ' Ttsscv n#}~/\P6 VirtualLab Fusion中的工作流程 ~( 0bqt3c
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 '7/F]S0K m Rm }7p •构造光栅结构 ;]b4O4C\
−通过使用界面来配置光栅结构 tW94\3)1
[用例] ck%YEMs
•分析光栅衍射效率 @}:E{J#g
−光栅级次分析器[用例] RwYFBc
•使用参数运行搜索初始解决方案 ^y q Ra&
−参数运行文档的使用[用例] /zb/ am1#
•通过参数优化找到最终设计 YM6
J:89 MBU|<tc VirtualLab Fusion技术 TET=>6
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