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摘要 )/%S=c @l>Xnqx) 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 XS/n>C ( pD7
,f<B}O {%7<" 建模任务 _t.FL@3e A'g,:8Ou w6U
@tW 光栅特性与参数的严格分析 OOLe[P3J3 "L_-}BK 不同光栅周期下的衍射效率 S:Xs'0K_ iwo$\
M:|/ijpN )F
E8D 关于光栅周期选择的考虑 [$:@X V( H-a^BZ&iU
K -E`y CKC0{J8g
偏振相关的衍射特性
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?pKN'` <ge}9pU)o^ 通过参数优化进行光栅设计 <(uTst u_Zm1*'?B 固定周期的2D参数优化 dJE`9$jN MiD
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0kT VirtualLab Fusion中的工作流程 *@~`d*d a>?p.!BM
]'6'<S R@OSqEnr •构造光栅结构 A$N+9n\ −通过使用界面来配置光栅结构 ]qMH=>pOsj [用例] OMi02tSm •分析光栅衍射效率 qz87iJp& −光栅级次分析器[用例] /Go>5B> •使用参数运行搜索初始解决方案 niQ+EAD −参数运行文档的使用[用例] L1rAT •通过参数优化找到最终设计 /!-J53K U(P:J e VirtualLab Fusion技术 _Ws#UL+Nq [~!.a\[RW
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