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摘要 8Z# 21X> S;=_;&68? 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 : #$F)]y'\
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 g1 9S }+0z,s~0. 建模任务 b/<mRQ{ ]1sNmi$T  [se^.[0, 光栅特性与参数的严格分析 iF9_b x U}M;4kH~ 不同光栅周期下的衍射效率 OCnF EX" |pW\Ec#(
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DMZ` Sx 关于光栅周期选择的考虑 [w+Q^\%bN
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 ngyY KCtX $ XGL •构造光栅结构 <B[G |FY,
−通过使用界面来配置光栅结构 !'W- 6f
[用例] 9UD
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•分析光栅衍射效率 +jV_Wz
−光栅级次分析器[用例] q#[`KOPV
•使用参数运行搜索初始解决方案 TlRk*/PlJ
−参数运行文档的使用[用例] VKrShI
•通过参数优化找到最终设计 N"c(e6 u#j C#u^M VirtualLab Fusion技术 rVzI_zYqp' geGeZ5+B
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