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摘要 Yjx|9_|Xn 7S?4XyU/o 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?LvCR_D: +$oF]OO
&f&z_WU _YcA+3ZL 建模任务 jDQZQ NS H54R8O$ H$I=W>; 光栅特性与参数的严格分析 %-d]X{J: `uC@nJ 不同光栅周期下的衍射效率 eImn+_ N3 FJ asS8
-jMJAYj V c%=IL M4 关于光栅周期选择的考虑 aH^RoG} 6`f2-f9%iq
)B[0JrcE "HPB!)C8( 偏振相关的衍射特性 ;3'.C~ V0)fZS@tf
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o|$AyS{1 ^_f+15]D •构造光栅结构 xftBSdVE −通过使用界面来配置光栅结构 9o+)?1\ [用例] MgY0q?.S= •分析光栅衍射效率 uH(f$A −光栅级次分析器[用例] 07[_.i.l •使用参数运行搜索初始解决方案 t{.8|d@
−参数运行文档的使用[用例] I= &stsH •通过参数优化找到最终设计 *3?'4"B{8 'L8'
'(eZ^ VirtualLab Fusion技术 eN^qG
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