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摘要 P5Fm<f8\ 4aGHks8Z,\ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |_-FQ~Hf F yjr!8L:m
>_R5Li ^LZU><{'; 建模任务 <yeG0`}t {8E
hC/= Ly3^zFW 光栅特性与参数的严格分析 B}:[~R' K,J:i^2 不同光栅周期下的衍射效率 i~4:]r22 Y40{v(Pi
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a~J.0co 关于光栅周期选择的考虑 b-wFnMXk+ sb;81?|
iNha<iS+ |d8/ZD 偏振相关的衍射特性 !Y5O3^I=u ,]>Eg6B,u
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Z$T1nm%lo: Mk7#qiPo
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TRPy NoV2<m$ 通过参数优化进行光栅设计 Wh"oL;O WPLAh_fe 固定周期的2D参数优化 C:W}hA! #;H+Kb5O
T-eeYw?Yf 2D参数优化–设计1 P#6y p9Ks=\yvL
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+:;r} 7Zh 5|";L&` 变化光栅周期的3D参数优化 <1>\?$)D crUt8L-B4
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7u /wVrr%SN 制造公差分析 byoDGUv q B5cF_
NFv9%$l- 6;k#|-GU& 走进VirtualLab Fusion \2@OS6LUe Y;4nIWe
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x)h5W+$ `A])4q$ VirtualLab Fusion中的工作流程 8" XbW7 ^o #toKT_
6MqJy6 Z[s{ •构造光栅结构 Oe5=2~4O −通过使用界面来配置光栅结构 a=T_I1 [用例] :VX?j3qW •分析光栅衍射效率 YD 1u −光栅级次分析器[用例] XzIhFX6 •使用参数运行搜索初始解决方案 "JT R5;`w −参数运行文档的使用[用例] (%D*S_m' •通过参数优化找到最终设计 VD#`1g< +h.$<= VirtualLab Fusion技术 dUyit- x!"S`AM
76(-!Z@=J
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