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摘要 ,ivWVsN*] -U/I'RDLEz 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2<`gs(oxXe l:>qR/|m
AJJ%gxqGq 'XC&BWJ 建模任务 p{\qSPK Sn{aHH 7J#g1 光栅特性与参数的严格分析 `?Y_0Nh> A>rW Go.{E 不同光栅周期下的衍射效率 G_7ks]u- _47j9m]f
TWl(\<&+) xCmI7$uQ# 关于光栅周期选择的考虑 d()zW7}W *!wO:<-
i-K"9z|) Kt/+PS 偏振相关的衍射特性 Q"l"p:n%n >*<6 zQf
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A*-]J=:E { rU2YMghE 通过参数优化进行光栅设计 !#_h2a 0C"PC:h5 固定周期的2D参数优化 2Be ?5+ $)kBz*C[
x):k#cu[L 2D参数优化–设计1 R9|2&pfm(M 2f}K#i8
=0!\F~ D:RBq\8 2D参数优化–设计2 e$FAhwpon ^R8U-V8:
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4 GtAJ#[5w 制造公差分析–设计2 e!2%k u mV!
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%FR^[H] 7am/X. 变化光栅周期的3D参数优化 jmk*z(}#: N.Wdi
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CL@h!h554_ +~i+k~{`H VirtualLab Fusion中的工作流程 mC[U)` ey _WjETyh
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l_j<aCY?| *3etxnQc •构造光栅结构 M~{P',l* −通过使用界面来配置光栅结构 &Lt$a_y> [用例] U<,Kw6K •分析光栅衍射效率 wMPw/a; −光栅级次分析器[用例] :z0>H5 •使用参数运行搜索初始解决方案 G=bP<XF −参数运行文档的使用[用例] a@_Cx •通过参数优化找到最终设计 fj
t_9-. {i%xs#0h VirtualLab Fusion技术 CAo )v,f t+4Y3*WeGF
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