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摘要 9B0ON*` ng%[yY 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Dj\nsc@e3 H,(vTthd
`p()ko Q!+AiSTU 建模任务 @62,.\F =|?`5!A Skt-5S# 光栅特性与参数的严格分析 kE:[6reG 7"(Zpu 不同光栅周期下的衍射效率 cfIC(d 5 bI:xL}
<\#'o} cACIy yQ 关于光栅周期选择的考虑 Tw-NIT) PBn7{( x
c e;7 GQbr}xX.# 偏振相关的衍射特性 F!X0Wo= j}u L
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H,%bKl# (%B{=w}8 通过参数优化进行光栅设计 _pTcSp3 :Qge1/ 固定周期的2D参数优化 )gdeFA V A$@;Q5/2
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6\7c: FsED9+/m 2D参数优化–设计2 PLz{EQ[cV hQ|mow@Zmz
1K9.3n zQ=b|p]|W 制造公差分析–设计2 AY52j |?88EG@05
?,$:~O*w !P{ /;Q 变化光栅周期的3D参数优化 O<$w-( J@-'IJ
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n XJ •构造光栅结构 WXxnOLJr −通过使用界面来配置光栅结构 5, ;\zSz [用例] +'m9b7+v •分析光栅衍射效率 7g*!6-W[ −光栅级次分析器[用例] FsqH:I4O •使用参数运行搜索初始解决方案 Zz} o t −参数运行文档的使用[用例] r%;|gIky •通过参数优化找到最终设计 (A?>U_@ __}SHU0R VirtualLab Fusion技术 P.YT/ "[
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