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摘要 ~+y0UEtq7 Qe~2'Hw#9 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *L%i-Wg" `f@VX
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)A`Zgg'L7D <z>K{:+> 建模任务 xELnik_L2 ~)S Q{eK?& NMSpi[dr 光栅特性与参数的严格分析 -V'`;zE6 A/ eZ!"Y 不同光栅周期下的衍射效率 iw,F)O NZ\aK}?~!
~dIb>[7wy kXj%thDx 关于光栅周期选择的考虑 FmALmS !n=@(bT*wT
4{'0-7} /nK)esB1L 偏振相关的衍射特性 W~1/vJ.*l ]~,V(K
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G -U% +[ _)i9a 通过参数优化进行光栅设计 2$D
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3:$hC8 2D参数优化–设计1 _v=@MOI/J q%4l!gzF3
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DPfP)J:~ \?,'i/c- 制造公差分析–设计2 W{OlJRX8 }2Lh'0 xY
S9Fg0E+J Ae,-.xJ 变化光栅周期的3D参数优化 (~oUd4 $+IE`(Ckf
]E66' hFw\uETu 制造公差分析 Sti)YCXH Q6y883>9
W{Cc wq ;lST@> 走进VirtualLab Fusion %$j)?e .>0e?A4,5?
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H{` VirtualLab Fusion中的工作流程 Vw*;xek? lrjlkgSN
G7k0P-r,0 ?)#dP8n •构造光栅结构 j380=?7 −通过使用界面来配置光栅结构 bz_Zk [用例] m",wjoZe* •分析光栅衍射效率 b .k
J&c −光栅级次分析器[用例] -
Z "w •使用参数运行搜索初始解决方案 ZVpMR0! −参数运行文档的使用[用例] ~V?O%1)k?\ •通过参数优化找到最终设计 Q3#-q>;7 W|@EK E.k VirtualLab Fusion技术 aG?ko*A; ;$@7iL
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