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摘要 zgxMDLH Ozsvsa 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pT:6A[& NMN&mJsmh
:p$Q3 7?uIl9Vk>( 建模任务 g(o^'f v#5hK<9 e"Tr0k 光栅特性与参数的严格分析 (J
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kr44@!s+' {C%f~j 关于光栅周期选择的考虑 e,*@+E\4 t+Qx-sW
}%3i8e | tFg9RT 偏振相关的衍射特性 "~08<+ Ye/Y<Ij
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OXV9D:bIa 'lgS;ItpKu 通过参数优化进行光栅设计 'pT8S V~QOl=`K: 固定周期的2D参数优化 EB
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制造公差分析 0He^r
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@[O|n)7 C=DC g VirtualLab Fusion中的工作流程 mzn#4;m$ dMa6hI{k
9@YhAj Gyy?cn6_ •构造光栅结构 YDGW]T]i ? −通过使用界面来配置光栅结构 BBj>ML\X [用例] awOH50R •分析光栅衍射效率 piAFxS<6 −光栅级次分析器[用例] _[y<u}) •使用参数运行搜索初始解决方案 wU&vkb)k −参数运行文档的使用[用例] B\quXE) •通过参数优化找到最终设计 AL[,&_&uV B?;P:!/1 VirtualLab Fusion技术 =m?x5G^ *;~i\M9_
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