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摘要 ; w+<yW}EL ,W: Bh$% 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 d`ES e'j:
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 01AzM)U3"m F]k$ O $)0 建模任务 q@ 8j[15 0$e]?]X6  $bo 5:c 光栅特性与参数的严格分析 +t`QHvxv B%^ $fJ|
不同光栅周期下的衍射效率 oNa*|CSE> lL ]8~3b
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i=DoK{`L 关于光栅周期选择的考虑 o^b4l'&o
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 coxMsDs 54 Baz •构造光栅结构 }cL9`a9j
−通过使用界面来配置光栅结构 C>qKKLZ
[用例] Jz!8Xg%a
•分析光栅衍射效率 _:,:U[@Vz
−光栅级次分析器[用例] [kyF |3k~
•使用参数运行搜索初始解决方案 8W]6/st?]
−参数运行文档的使用[用例] }D7q)_g=
•通过参数优化找到最终设计 wv 2 'wd-!aZAd VirtualLab Fusion技术 }wh)I]]U Xw=>L#Q
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