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摘要 W! J@30 /!`xqG# 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9n"MNedqH H5o=nWQ6e
oY7jj=z#T Iv*u#]{t 建模任务 py'xBi6}v mU.c!|Y \0&F'V 光栅特性与参数的严格分析 k+Z2)j" {kr14l*2 不同光栅周期下的衍射效率 q1m{G1W
n S,Tc\}
Z9Z\2t Ds#BfP7a 关于光栅周期选择的考虑 G&"O)$h EBr?>hl
)ybF@emc :T<5Tq*+x 偏振相关的衍射特性 RaP,dR+P 6RDy2JAOP
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'g3T'2"`5 Wrh$`JC 通过参数优化进行光栅设计 1I)oT-~ &So1;RR,_M 固定周期的2D参数优化 ?GW}:'z m(0X_&&?z
g(,^';j 2D参数优化–设计1 @PctBS<s vo%"(!
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P(/eVD#v G=SMz+z 制造公差分析 `uH7~ r^ b&dv("e
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5$+ssR_?k |(.%`BTD 走进VirtualLab Fusion ge<D}6GQ <HzL%DX
"Mhn?PTq (z?j{J VirtualLab Fusion中的工作流程 JodD6;P xu%eg]
v+8Ybq Vzo<ma^ •构造光栅结构 Vxu V`Plf −通过使用界面来配置光栅结构 P.QF9% [用例] -6~.;M 5 •分析光栅衍射效率 NzTF2ve( −光栅级次分析器[用例] Ip:54 •使用参数运行搜索初始解决方案 V; CPn −参数运行文档的使用[用例] y@<2`h •通过参数优化找到最终设计 Y]](.\ff G$%F`R[ VirtualLab Fusion技术 'tvuw\hhL %OHZOs
C4P<GtR9
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