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摘要 NV?XZ[<*< f}4A,%:1 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *=v%($~PK6 _s5FYb#
?$tD 9%3+\[s1 建模任务 ahCwA} AcH!KbYf ;#IrHR*Bk 光栅特性与参数的严格分析 Q)M-f;O *icaKy3 不同光栅周期下的衍射效率 "$K]+0ryG< yM9>)SE5`
:"Tkl$@, u;1[_~ 关于光栅周期选择的考虑 (4yXr|to} sKR%YK
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6@FhDj2X ,WnZ^R/n 偏振相关的衍射特性 _?'W30Dg <&O*'
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fGs\R] p W5D!z 通过参数优化进行光栅设计 uW/>c$*) F]>+pU
固定周期的2D参数优化 *mWl=J;u =-GxJPL
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~ QohP`_ GJ2ZK=/ 制造公差分析 (pP.*`JRv (aSuxl.Dq
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[UC_ 5/h-Hr VirtualLab Fusion中的工作流程 IEP|j;~* xJU]py~o
VmQ' -{9mctt/gE •构造光栅结构 mXS]SE −通过使用界面来配置光栅结构 ANM=:EtP [用例] 5kQ@]n:<k •分析光栅衍射效率 PUZcb+%]h −光栅级次分析器[用例] 74:~F)BP •使用参数运行搜索初始解决方案 FPF$~ sX −参数运行文档的使用[用例] o,c}L9nvt •通过参数优化找到最终设计 /
j%~#@ IvY3iRq6 VirtualLab Fusion技术 f8N*[by 5p:BHw;%;
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