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摘要 tjdPi a 'H1~Zhv 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _0H oJ
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 _k84 #E0 U>5^:%3 建模任务 z 2=bbm: H R>Y?B{  CK* * RZ 光栅特性与参数的严格分析 MlO OB oqrx7 +0{ 不同光栅周期下的衍射效率 >KKWhJ ~uQ*u.wi
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 }[+uHR6L z/t|'8f VirtualLab Fusion中的工作流程 9QQ XB-
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 7_~ A*LM reu[rZ& •构造光栅结构 NcA
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−通过使用界面来配置光栅结构 Emlj,c<?j
[用例] j>8DaEfwx
•分析光栅衍射效率 }*fBHzNN
−光栅级次分析器[用例] sn" ((BsO<
•使用参数运行搜索初始解决方案 yan^\)HZ
−参数运行文档的使用[用例] r r# nBhh8
•通过参数优化找到最终设计 ~${~To8$CW 161P%sGx2 VirtualLab Fusion技术 i/:L^SQAq \, R;
 _a09;C
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