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摘要 >P-{2
a,4 l)1FCDV 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;:2:f1_ 'WF Ey>1#
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光栅特性与参数的严格分析 f9ziSD# g#??Mz 不同光栅周期下的衍射效率 vh29mzum C71\9K*X
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` 6'dhB C{5^UCJkg 制造公差分析 )|Il@unp/ 3lW7auH4Y{
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9s< Gl@-RLo •构造光栅结构 /8s+eHn&% −通过使用界面来配置光栅结构 ;DG&HO [用例] =Y-ZI •分析光栅衍射效率 5PCMxjon −光栅级次分析器[用例] kZfUwF:yN •使用参数运行搜索初始解决方案 'x{E#4A −参数运行文档的使用[用例] +hW^wqk/. •通过参数优化找到最终设计 lY,dyNFHV #$dk VirtualLab Fusion技术 kpQXnDm2 /HiRbwQK#
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