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摘要 8No'8(dPX Cd]A1<6s 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;YMg 4Cs
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 k&f/f [cznhIvyO 建模任务 0nB[Udk? `D=`xSEYl  {+d) M 光栅特性与参数的严格分析 aE3eYl9u I2SH
j6 - 不同光栅周期下的衍射效率 R F'nwzM3 -J#RGB{7
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" Qyi/r41 关于光栅周期选择的考虑 `jT B9A"
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]{ n oaPWe M+ •构造光栅结构 4 KR`
−通过使用界面来配置光栅结构 $0 vT_
[用例] oD\t4]?E
•分析光栅衍射效率 w $-q&
−光栅级次分析器[用例] U$+,|\ 9
•使用参数运行搜索初始解决方案 {I $i D
−参数运行文档的使用[用例] ]d7A|)q
•通过参数优化找到最终设计 }
S]!W\a sP2Uj VirtualLab Fusion技术 }79jyS-e e`LkCy[_
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