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摘要 \9%SR~ wePhH*nQ> 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 L/U^1=Wi*O ^"?fZSC
S?M'JoYy *88Q6=Mm 建模任务 D[NJ{E.{ gC+PpY#2h
Y$%z]i5 007(k"=oV 正弦光栅—效率与高度(TEA) 122%KS i`Tp +e@a>
(rHS2SA\5 <h*r 正弦光栅—透射相位曲线 #'@pL0dj tLz,t&h
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!Rq.L R8*z}xy{ 正弦光栅—衍射效率 j0XS12eM 8K]5fkC|
)H'SU_YU n I63Ns 正弦光栅—效率与周期 #%;QcDXRe VDyQv^=#
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Q||vU j>{Dbl:#2 闪耀光栅—效率与高度(TEA) YPV@/n[N Em%0C@C
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R;G"LT #{m~=1%;Ya VirtualLab Fusion一瞥 Mx7 hyHeyDO2
zeHf(N %OIJ. VirtualLab Fusion工作流程 lBpy0lo# r+0<A.''a .J0Tn,m • 设置光栅结构 XtJIaD|:3 −使用界面配置光栅结构[用户案例] vuNt+ • 分析光栅衍射效率 [1LlzCAFBw −光栅阶次分析器[用户案例] x%hV5KW • 通过参数运行检查不同参数的影响 i-<1M|f − 利用参数运行文档[用户案例] DV8b<) ty W5k(>
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