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摘要 g IX"W;
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 X@x:
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 3m7$$ N| f=~@e#U 建模任务 R(pvUm& L
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 56?U4wj7{ b)@D*plS& 正弦光栅—效率与高度（TEA） [p4a\ Qg0 * I'O_D
 ~ D3'-,n[ Wf: AMxDm 正弦光栅—透射相位曲线 MB ^ b)\X
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 rQisk8 % ?0'bf y] 正弦光栅—效率与周期 J|6aa
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 Wt8;S$!=R .V/TVz!b 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 [>"qOFCr#:
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 & rw|fF|] u{6*}6@fi 闪耀光栅—效率与高度（TEA） i9.5 2
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 p' /$)klt XHpoaHyx 闪耀光栅—透射相位曲线 ZV;#ZXch
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Jm 闪耀光栅—衍射效率 1/le%}mK
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 qQpR gzw _V8pDcY 闪耀光栅—效率与周期 EO'3;mo,
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<7TpC@"/g VirtualLab Fusion一瞥 R
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 u :m]-' ! *pK# VirtualLab Fusion工作流程 e?Cbl' :1.$7W t \f{C2d/6j
• 设置光栅结构 nH T2M{R
−使用界面配置光栅结构[用户案例] m! p'nP
• 分析光栅衍射效率 Sl 6}5
−光栅阶次分析器[用户案例] ?J<4IvL/
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Xv:<sX
− 利用参数运行文档[用户案例] y!aq}YS
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