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摘要 ZZ?=^g StaX~J6= 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 v8_HaA$5Y 6z!?U:bT
B9Y "J )7O4j}B){ 建模任务 El]Rrku g]z,*d
r|6S&Ia> qdNYY&6>?u 正弦光栅—效率与高度(TEA) 5\RKT)%X FZb\VUmnV
h7kGs^pP CzST~*lH 正弦光栅—透射相位曲线 KS3
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ep>S$a*| |jF)~k6 正弦光栅—透射相位曲线 ^|-x mUC .B_)w:oF
Tld%NE ;40!2P8t 正弦光栅—衍射效率 RY&Wvkjh ~z%K9YcyU
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rhQ &*/8Ojv)9 正弦光栅—效率与周期 dX,2cK[aG 7bCTR2e\@w
``$At ,m ko$bCG% 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Quc9lL N:\I]M
9Clddjf?c aKkQXq* 闪耀光栅—效率与高度(TEA) e*Sv}4e=. d]$z&E
Xc"S"a^\% Qte=<Z) 闪耀光栅—透射相位曲线 v/}M_E $xa#+
-Q<3Q_ ?)'j;1_=E3 闪耀光栅—衍射效率 I[WW1P5 a
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QjVP]C}p ;.'2ZNt2 VirtualLab Fusion一瞥 ]SFB_5Gb oJvF)d@gU
#3f\,4K5 # G0jMQ VirtualLab Fusion工作流程 r>eOq[z qXn%c" xbxU`2/ • 设置光栅结构 3^xTZ*G −使用界面配置光栅结构[用户案例] JLp.bxx • 分析光栅衍射效率 ]<WKi= −光栅阶次分析器[用户案例] "|gNNmr • 通过参数运行检查不同参数的影响 .zAB)rNc
| − 利用参数运行文档[用户案例] .fk!~8b[Q+ 3&/5!zOg)
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