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摘要 %CYo,
e 2%fzRXhu% 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 D^>d<LX W4av?H
wbOYtN Y@ lvODhoT 建模任务 AvZ5?rN$ q2F`q. j
PA803R74 7xB]Z;: 正弦光栅—效率与高度(TEA) %'g)MK!e ud(0}[
VJw7defc )c*xKij 正弦光栅—透射相位曲线 Gjq7@F' 'hWA&Xx+
8a@k6OZ {HM[ )t0 正弦光栅—透射相位曲线 :sK4mR F I6;6x
lb9?Uc@ lijTL-3 正弦光栅—衍射效率 #?r|6<4X 1yz%ud-l
[*It' J^ NwOV2E6@OW 正弦光栅—效率与周期 y@$E5sz 0+1!-Wo
zJ(DO>,p& At<MY`ka 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ZY7-. !^y;|9?O
?(R# p*g)-/mA 闪耀光栅—效率与高度(TEA) p{_*<"cfYn QsxvA;7%
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闪耀光栅—透射相位曲线 l=T;hk t\QLj&h}E
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6Hb a@Q1` h]~FYY 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 #mUQ@X@K b"#S92R+
;Qq_ W//+[ VirtualLab Fusion一瞥 w[l#0ZZ !nJl.Y$
MUZ]*n&0 3t.!5L VirtualLab Fusion工作流程 \hI?XnL# 2
KHT!ik bcT_YFLQ • 设置光栅结构 3 ;F −使用界面配置光栅结构[用户案例] 2+)h!y] • 分析光栅衍射效率 |Fze9kZO −光栅阶次分析器[用户案例] _~CJitR3 • 通过参数运行检查不同参数的影响 9&zR
i − 利用参数运行文档[用户案例] >*O5Ry:4 `$JZJ!,A
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