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摘要 B=Kr J{&!
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ,h=a+ja8
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 #b /L~Bw[ mrr]{K 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 a0hBF4+6
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 ?j8!3NCl} frUs'j/bZ 闪耀光栅—效率与高度（TEA） i&m_G5u88
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 f I=G>[ S?CT6moXA 闪耀光栅—衍射效率 Iuz_u2"C
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PwW$=M{\. VirtualLab Fusion一瞥 W:8MqVm34
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 Mv%Qze,\V^ wxqX4 2v VirtualLab Fusion工作流程 1N(#4mE= L9O;K$[s nHm29{G0
• 设置光栅结构 k Nc- @B
−使用界面配置光栅结构[用户案例] Hy4;i^Ik <
• 分析光栅衍射效率 Xuu&`U~%
−光栅阶次分析器[用户案例] "LlQl3"=
• 通过参数运行检查不同参数的影响 WYb}SI(E
− 利用参数运行文档[用户案例] KO=$Hr?f;
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