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摘要 _'9("m V #clOpyT* 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 u6o:~=WwM r0ml|PX
'6l4MR$j&m VC%{qal;q 建模任务 @Qw~z0PE<l 8:9m< ^4S(
[J0f:&7\ Ewjzm,2 正弦光栅—效率与高度(TEA) "`P/j+-rt KU,KEtf
+"8 [E~Bih kev|AU (WX 正弦光栅—透射相位曲线 up+W[#+ sT.;*3{
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_*&I[%I5 E6 g]EE VirtualLab Fusion工作流程 Whoqs_Mm{ \[\4= !v E[$"~|7|$ • 设置光栅结构 #@pgB:~lB −使用界面配置光栅结构[用户案例] DIqM\ >< • 分析光栅衍射效率 ?L K
n −光栅阶次分析器[用户案例] ^pB}eh.@U • 通过参数运行检查不同参数的影响 /,C;fT<R − 利用参数运行文档[用户案例] _#\e5bE=Z !
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