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摘要 F`3c uL[N
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 &xMR{:
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 v_"p)4&' y.26:c( 建模任务 u[dR*o0'
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 Mb=vIk{B f ]d}Z2I' 正弦光栅—效率与高度（TEA） Pfu2=2Ra ;(fD R8
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 DcE)6z# \%z#|oV#< 正弦光栅—衍射效率 fGH Ys
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 W# E` h k`U")lv 正弦光栅—效率与周期 k{(R.gLZG
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 M.))UKSF ^&buX_nlO 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 B> *zQb2:
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 j+"i$ln+s :2iNw>z1 闪耀光栅—效率与高度（TEA） A(2_hl-
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6t /nM VirtualLab Fusion一瞥 ~XGBE
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 u U Xj e^2e[rp0 VirtualLab Fusion工作流程 V}gP'f07zy n " ?It q)vdDdRe_
• 设置光栅结构 6 /_] |4t
−使用界面配置光栅结构[用户案例] ATx6YP@7~
• 分析光栅衍射效率 %;ZWYj`]n
−光栅阶次分析器[用户案例] 4 g < F."
• 通过参数运行检查不同参数的影响 ]Hr:|2 |.
− 利用参数运行文档[用户案例] !wP |t#Sc9
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 X,-QxV=lc) \1|]?ZQ\ K VirtualLab Fusion技术 ,{DZvif
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