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摘要 pG^>y0
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 YJF|J2u
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 C YdYa| R] l2,0: VirtualLab Fusion工作流程 U. 1&'U* 5}2148 @%8$k[
• 设置光栅结构 |$[.X3i
−使用界面配置光栅结构[用户案例] rxOv YF
• 分析光栅衍射效率 6 )lWuY]e
−光栅阶次分析器[用户案例] q:m qA$n
• 通过参数运行检查不同参数的影响 hLaQ[9
− 利用参数运行文档[用户案例] \q"vC1,9
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 >vDi, qmZ -kb;h F}. VirtualLab Fusion技术
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