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摘要 Eq:2k)BE @t1V
o}c 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 TPE:e)GO M/z}p
MuBx#M/ C[WCg9Av 建模任务 1p'Le! a iCn"j
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正弦光栅—效率与高度(TEA) xmGk*W)P :D7|%KK
6bBdIqGb} A$.fv5${ 正弦光栅—透射相位曲线 6x=YQwn~ U.T|
abxDB F\ctu aLC 正弦光栅—透射相位曲线 AnZclqtb AOrHU M[I
0J~Qq]g :c8n[+5 正弦光栅—衍射效率 _7a'r</@ 7~M<cD
8[ry|J D@X+{ 正弦光栅—效率与周期 -RJE6~>'\ m=qOg>k
7-_vY[)/ 69#8Z+dw7 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Ri>?KrQF% s~26
Lv1{k\aw ,)~E>[=+ 闪耀光栅—效率与高度(TEA) /NF# +bx 1px\K8
b]gY~cbI8 uHNpfKnZ 闪耀光栅—透射相位曲线 jw6Tj;c (P6vOo
v[<Bjs\q5 w?csV8ot 闪耀光栅—衍射效率 "Mmf6hu cjULX+h
d`Q7"}uZ }g f}eH 闪耀光栅—效率与周期 (foBp /&ygi H{^
U/qE4u1J6M g dj^df+2F 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 UEz i*"-v2 GIHpSy`z
\|Dei);k &d`^E6# VirtualLab Fusion一瞥 ;_<)JqUh fMK#x\.4
$M"0BZQ?y! r{+aeLu VirtualLab Fusion工作流程 L*?!Z^k <8(?7QI =?0QqCjK) • 设置光栅结构 +lO'wa7|3 −使用界面配置光栅结构[用户案例] \Rk$t7ZH • 分析光栅衍射效率 F@YV]u>N −光栅阶次分析器[用户案例] %hT4qzJj • 通过参数运行检查不同参数的影响 <R1X\s. − 利用参数运行文档[用户案例] Y9}8M27vQG L~FTr
sM\&.<B I^Qx/uTKw VirtualLab Fusion技术 ]" x\=A =g@9>3~{!
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