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摘要 Fqg*H1I[ KfV&7yi 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ]DLs'W;) ant#bDb/ eD0|6P;Ei V7$-4%NL 建模任务 ].3@ Dk Gw?ueui< 3'6by!N,d /9SNXjfbt 正弦光栅—效率与高度(TEA) Hzojv<c (n4Uc308 {h~<!sEX jYnP)xX; 正弦光栅—透射相位曲线 |]tsf
/SA |jyD@Q,4 (?kCo 5~=wia 正弦光栅—透射相位曲线 ]RTK:% s+&iH (]sk3
A z i3gE$7 正弦光栅—衍射效率 la89>pF 15"[MX A F{F SmUxzK xZ>@wBQ 正弦光栅—效率与周期 e)A{
{wD/ t[X,m]SX r,cK#!<% ]vq=~x 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 BaOPtBYA: hXQo>t-$ [<IJ{yfx
2>Sr04Pt 闪耀光栅—效率与高度(TEA) 89a`WV@} <M M(Z ?D=t:= q]OgT4ly 闪耀光栅—透射相位曲线
4B'-tV }Fb966 $ I_On0@%T5b 7` IO mTk 闪耀光栅—衍射效率 bVYsPS hSU|rVi !k=~a] 77~l~EX 闪耀光栅—效率与周期 onF?;>[ y\}<N6 ]hlYmT G-W(giF;NO 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 1zc-$B`t 'cvc\=p .*+e?- x<h-F VirtualLab Fusion一瞥
`sJv? 7.7Z|lJ 5MS5 Q]/ rI4N3d;C VirtualLab Fusion工作流程 meR5E?Fm PZSi}j/ i`" L?3T • 设置光栅结构 X1\ao[t<;c −使用界面配置光栅结构[用户案例] #{|F2AM • 分析光栅衍射效率 6D1tRo −光栅阶次分析器[用户案例] Q)l~?Fx • 通过参数运行检查不同参数的影响 IC@-`S#F − 利用参数运行文档[用户案例] <!I^ xo[ ~{BR~\D h!~u^Z.7< b'TkYa^ VirtualLab Fusion技术 +u'y!@VV ~OOD#/ n<66 7
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