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摘要 N8`q.;qewz v,)vW5jGI 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 k{+Gv}Y pIvr*UzY
D{iPsH6};5 x/?w1 建模任务 |\h<!xR !u%XvxJwDb
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,Yz8 M{`uI8vD 正弦光栅—透射相位曲线 bqm%@*fZo Vg1MA
h8? E+0 Ku] <$uo 正弦光栅—透射相位曲线 SQI =D8 d2<+Pp
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YuX 正弦光栅—衍射效率 E>x,$w<? 4k=LVu]Kcr
d?1[xv; PQ4)kVT 正弦光栅—效率与周期 Z oQPvs7_ #~;:i
FK`M+ j ?8@EBPpC 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 *d,Z?S/ PRyzUG&
a3E.rr;b ]s^Pw>/` 闪耀光栅—效率与高度(TEA) d<afO?" ]MV=@T^8#
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5vqh09-FB Q%^!j_# 闪耀光栅—效率与周期 =9cN{&qf {,zn#hU.R
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QAKA3{-( Sv|jR r' VirtualLab Fusion一瞥 n~G-X
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Y8%*S%yO _q 1E4z VirtualLab Fusion工作流程 CxJkT2 tAH0o\1; 1JSKK.LuJV • 设置光栅结构 .z&,d&E −使用界面配置光栅结构[用户案例] 2vx1M6a)L • 分析光栅衍射效率 @6:J$B~)u −光栅阶次分析器[用户案例] )MU)'1jc, • 通过参数运行检查不同参数的影响 +JRPd.B"@ − 利用参数运行文档[用户案例] =hDFpb,mr D0a3%LBS/2
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