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摘要 En:.U9?X b[Z5:[@\# 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 -@49Zh2' RbUhLcG5
2s{PE u~#QvA~] 建模任务 60KhwD1 N;cEf7+f
].f28bY ~7$E\w6 正弦光栅—效率与高度(TEA) ;[*jLi,uc jd9GueV*(
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v?z 3V]B|^S 正弦光栅—透射相位曲线 ,f`435R Nf0'>`/
_qg)^M 6 vkdU6CZO 正弦光栅—透射相位曲线 !r:X`~\a [AzQP!gi
(fmcWHs tGGv 2TCEy 正弦光栅—衍射效率 aRBTuLa)fo 8(R%?>8
OR[6pr@ OhmKjY/} 正弦光栅—效率与周期 "4c
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*')g}2iB i6R2R8 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 B4^+&B# SFrQPdX6V
82%~WQnS t^0^He$Ot 闪耀光栅—效率与高度(TEA) Nx~9Ug 6X(Yv2X&4%
p F\~T> H`/QhE 闪耀光栅—透射相位曲线 rrK&XP& BIf E+L(
/\L|F?+@ V5y8VT=I
闪耀光栅—衍射效率 iOpMU ,-PzUR4_Kj
J&4QI( b. )Lht}I ]: 闪耀光栅—效率与周期 Ov1$7 r@ Fj\}&H*+
6AeX$>k+ m,nZrap 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 5urM,1SQ@ P( >*gp
VuqN)CE^Uq |FZ)5 VirtualLab Fusion一瞥
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fUQuEh5_ %M{qr!?uj VirtualLab Fusion工作流程 NNZ%jJy?=, oJC-? K8NoY6 • 设置光栅结构 pEk^; −使用界面配置光栅结构[用户案例] NpV#zzE • 分析光栅衍射效率 (9:MIP −光栅阶次分析器[用户案例] 9"Vch;U$ • 通过参数运行检查不同参数的影响 Jlw<%}r − 利用参数运行文档[用户案例] Xd%c00"U CJ B
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