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摘要 6sYV7w,'@ CgVh\4,a 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 9U2Px$E K4j@j}zK9I
h'B9|Cm DUZQO{V 建模任务 j6n2dMRvSE h`?y2?O
,dHP`j ? D^,\cZbY 正弦光栅—效率与高度(TEA) =QrA0kQR T@(6hEmP,
J3H.%m!V 4dW3'"R"L 正弦光栅—透射相位曲线 >65
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Z%A] Ab*]dn`z 正弦光栅—透射相位曲线 T|;^.TZ shM{Y9~O9&
$!a?i@ 'oC$6l'rQ 正弦光栅—衍射效率 C0zrXhY_v 5\VxXiy0
>4Iv[ D1 _kh>Z 正弦光栅—效率与周期 -{!&/;Z dO+kPC
PPN q:, DXKyRkn6e 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Qqp)@uM^ ?Rlgv5P!
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/[0F6 DX|uHbGg 闪耀光栅—透射相位曲线
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^Ss<X}es- CP +4k.)*O 闪耀光栅—衍射效率 Hr8\QgD<4 YQ52~M0L
R3$@N L5/mO6;k 闪耀光栅—效率与周期 BjYOfu'~z Bgf=\7;5
C+`xx('N9 {-Yee[d<? 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 Cgo9rC~] S:#e8H_7m]
N9pwWg&<+ Q]/B/ VirtualLab Fusion一瞥 NJ<N %hcjK D
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#aa1<-&H $1~c_<DN VirtualLab Fusion工作流程 >ZX|4U[$P W;.{]x.0 Uh*@BmDA • 设置光栅结构 N^lAG"Jao[ −使用界面配置光栅结构[用户案例] mzu<C)9d, • 分析光栅衍射效率 /0
_zXQyV −光栅阶次分析器[用户案例] o,J^ e_ • 通过参数运行检查不同参数的影响 0F1u W>D1 − 利用参数运行文档[用户案例] b9y)wBC%` J=@xAVBc
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