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摘要 j:5=s%S
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 |s"nM<ZNZ
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XLAN Np%E VirtualLab Fusion一瞥 m\$\ 09
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 $/.zm; D Eve.QAl| VirtualLab Fusion工作流程 r.#t63Rb {)
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• 设置光栅结构 89\n;5'f4
−使用界面配置光栅结构[用户案例] &K/ya7
• 分析光栅衍射效率 mH Ic f{RG
−光栅阶次分析器[用户案例] O+?<h{"
• 通过参数运行检查不同参数的影响 x9;gT&@H
− 利用参数运行文档[用户案例] 7Garnd b
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