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摘要 nHA`B .:B
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 :{i$2\D H6
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 D R yES i XL7;^AE^Wl 正弦光栅—效率与高度（TEA） Ns!3- Y L740s[,`o#
 _{c|o{2sj 0 gOrW= 正弦光栅—透射相位曲线 Ng'ZAG;O
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CxbSj, VirtualLab Fusion一瞥 G$;]
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 ~A`&/U jl.okWuiY VirtualLab Fusion工作流程 .D8~)ZWN W.,% 0cZ 1R=)17' O
• 设置光栅结构 =tr1*s{
−使用界面配置光栅结构[用户案例] `z|= ~
• 分析光栅衍射效率 bZNIxkc[Dh
−光栅阶次分析器[用户案例] { OB-J \7Y
• 通过参数运行检查不同参数的影响 2;r]g T~
− 利用参数运行文档[用户案例] 1Pk mg%+
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