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摘要 R>R8LIZZc
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ]B3f$;W
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3 |PV. VirtualLab Fusion一瞥 cY z|Ux
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t@7r VirtualLab Fusion工作流程 B7( bNr =F09@C , cC]l O
• 设置光栅结构 b<j*;n.
−使用界面配置光栅结构[用户案例] v(;n|=O
• 分析光栅衍射效率 sp6A* mwl
−光栅阶次分析器[用户案例] [: 8+ +#KD
• 通过参数运行检查不同参数的影响 #|K5ma
− 利用参数运行文档[用户案例] 95sK ;`rE+
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 $0*D7P^8 t8.^Y TI VirtualLab Fusion技术 xu.TS
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