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摘要 In96H` D48e30 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 xS/W}-dPv -GPJ,S V>
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}?,?2U,8: Ih:Q}V#6 VirtualLab Fusion工作流程 4C3_gm IrL%0&*hS _s5^\~ao • 设置光栅结构 |iHMAo −使用界面配置光栅结构[用户案例] / rc[HbNg. • 分析光栅衍射效率 %cSx`^`6j −光栅阶次分析器[用户案例] y{@\8B] • 通过参数运行检查不同参数的影响 ^ 0YQlT98 − 利用参数运行文档[用户案例] M)oKtiav* l9f_NJHo
h_(M#gG B%6cgm, VirtualLab Fusion技术 H7tviSTd 0vjCSU-X
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