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摘要 XOk0_[ ]HpKDb0+ 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 A7|CG[wZ 5x([fG
gj\'1(Ju QT!!KTf 建模任务 R]s\s[B !9w;2Z]uum
Jp'XZ]o\ \]@XY_21 正弦光栅—效率与高度(TEA) M/O4JZEqh fj/sN HU
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正弦光栅—透射相位曲线 {~Q9jg(A
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R5p VirtualLab Fusion一瞥 C< :F<[H LC!ZeW35
-y@5% _- yf2I%\p} VirtualLab Fusion工作流程 JOR ?xCc HjX!a29Wf )2U#<v^ • 设置光栅结构 2'R&K −使用界面配置光栅结构[用户案例] "8bxb • 分析光栅衍射效率 +
lha= −光栅阶次分析器[用户案例] @IB+@RmL • 通过参数运行检查不同参数的影响 # j=r − 利用参数运行文档[用户案例] aCL_cVOMR 208 dr*6U
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