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摘要 :iiTz$yk %R "nm 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 wpMQ 7:j 8j+;Xlh
E*"E{E7 I=I%e3GEm 建模任务 "2j~3aWj Z4sjH1W
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'v)+S;oB v)pWx0l= 正弦光栅—透射相位曲线 EU~'n- WL]'lSHa
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6P$q7G % QkvBg* 闪耀光栅—效率与高度(TEA) 69L&H!<i: 1Pc'wfj
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OMNdvrE*=O 8i"fhN3?Y 闪耀光栅—衍射效率 G_RK3E[FK dD!SgK [Jv
_E7eJSM. -z94>}Z= 闪耀光栅—效率与周期 z""(M4 ~A( Pa-
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>n62csO re2%e-F" VirtualLab Fusion一瞥 Kxn=iv^Ir #{a <{HX
48VsHqG v4G kf VirtualLab Fusion工作流程 >@o*v*25 c{0?gt. a1&^P1. • 设置光栅结构 ~Fh(4' −使用界面配置光栅结构[用户案例] hR2.w/2j • 分析光栅衍射效率
_L ].n)b −光栅阶次分析器[用户案例] *{bqHMd4L • 通过参数运行检查不同参数的影响 $6[]c)( − 利用参数运行文档[用户案例] G<I5%Yo6G u-$AFSt
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