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摘要 fG\]&LFBU o4g<[X) 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 "3Z<V8xB HJ,sZ4*]]
m+/-SG 1*Ui=M4 建模任务 !^*I?9P Z2dy|e(c
Bz#K_S ,Cckp! 6 正弦光栅—效率与高度(TEA) bs_"Nn? y~N,=5>j
h.W;Dmf6] JV#)?/a$z 正弦光栅—透射相位曲线 g)Byd\DS ,3{z_Rax-
`+(|$?C u ceu}Lp^%/ 正弦光栅—透射相位曲线 (mJqI)m8 tT;=l[7%
Q`]El<$ G;%Pf9o26 正弦光栅—衍射效率 fuxBoB \KaWR
$LF w*Gv#B9G 正弦光栅—效率与周期 D~xUr)E hC.7Z]
wZECG-jr/ 2\z"6 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Eqg(U0k0 /WVnyz0
M_2[Wypw .FnO 闪耀光栅—效率与高度(TEA) Odr@9MJ !(hP{k ^g
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? OT9\K_ 闪耀光栅—透射相位曲线 J(\"\Z }V3p <
[Pdm1]":( _|ucC$* 闪耀光栅—衍射效率 In0kP" JqO#W1h~R|
w49Wl>M |Mp_qg?g 闪耀光栅—效率与周期 _gY
so]S^B &DFe+y~PR
j}chU'if Tv0|e'^ 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 ^b`}g hgE!)UE
.e2u)YqA *_$%Tv.] VirtualLab Fusion一瞥 p1HU2APFP 3R?7&oXvH
8 F'i5i 2;4Of~ VirtualLab Fusion工作流程 }(-R`.e; SMQuJ_ MjG=6.J|` • 设置光栅结构 \qAMs^1- −使用界面配置光栅结构[用户案例] J?-"]s`J • 分析光栅衍射效率 x!q$`zF\\ −光栅阶次分析器[用户案例] >#R< |