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摘要 0BOL0<Wq
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 V{rQ@7 SE
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5U(ry6fI= VirtualLab Fusion一瞥 T- lHlm
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 4)d#d y::\ HQ3kxOT VirtualLab Fusion工作流程 %>:d5"&Lbs 1?T^jcny:M ww~gmz
• 设置光栅结构 x% Eu.jj
−使用界面配置光栅结构[用户案例] eX{Tyd{
• 分析光栅衍射效率
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−光栅阶次分析器[用户案例] -r6Ln dQs
• 通过参数运行检查不同参数的影响 ]WC@*3'kye
− 利用参数运行文档[用户案例] o!|TCwt
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 I LXV yU 7j\jOkl V VirtualLab Fusion技术 \-)augq([
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