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摘要 t+!gzZ O\?5#. 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 39T&c85 A,lw-(.z4Z
ro&Y7m 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 9[p}.9/ wAYzR$i 建模任务 J;=aIiN]R |t 65#1
( X
'FQ Ec*--]j*c 单次FMM仿真结果 ay:\P.`5) E8iadf49
bpF@}#fT L\:YbS~] 参数扫描(1D) O5TK&j )|Vg/S
8?j&{G >b4YbLkI# 参数扫描(2D) p21=$?k!; }GNkB hDB`t
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