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摘要 y^!>'cdV y+\kZIqX 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 O2pntKI 3_ bE12
Z8Iqgz7|y 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) !hs33@*u~ gmUXh;aHc 建模任务 7vo8lnQ{ LC1WVK/
J&2J6Eq i:a*6b.U@N 单次FMM仿真结果 Iuyq!R4:7 a}e GB +
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