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摘要 G~T]m . =tl[?6 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 y'4H8M2? /=4P<&J
W5*%n]s~ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) SV .\B DG1
>T 建模任务 j[YzBXd
V pmXx2T#=
ay#cW., F?'=iY<h 单次FMM仿真结果 $DW3H1iW &NV[)6!
sChMIbq!Av $enh>!mU 参数扫描(1D) #"d.D7nA ,-A8;DW]^J
WM BntB ZC3b9:tk 参数扫描(2D) ]aq!@rDX 5gW`;Cdbyc xEaRuH c
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