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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-10
    摘要 9hJ a K  
    IIF <Zkpb  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 = '-/JH~  
    S,a:H*Hf  
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    傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 90ov[|MkM  
    h${=gSJc  
    建模任务 Ht@5@(W]I  
    -"XHN=H  
    R0G!5>1i  
    fw a*|y;  
    单次FMM仿真结果 ofsLx6Po  
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    -MORd{GF  
    kjt(OFh'Y+  
    参数扫描(1D) }Nma %6PfV  
    o>&-B.zq  
    ^b^buCYw  
    PWO5R]  
    参数扫描(2D) k7(lwEgNG  
       mcs!A/]<  
    Digx#'#jf  
     
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