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摘要 ]v$ 2JgF]@
G4uOY?0N 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 )Qo^ Mz
ED A6b]
 ip*UujmNyR 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） u>2opI~m
}&EdA;/o_ 建模任务 2]tW&y_i
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 :IozWPs* * +J`Yk7} 单次FMM仿真结果 Lcs?2c:%
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 4}<[4]f?| t&G #% 参数扫描（1D） ` >k7^!Ds
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 ?"p.Gy) QU@CPME 参数扫描（2D） z+Ej`$E{lD d s}E|Q  ESkhCDU
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