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摘要 0uS6F8x@ S01Bc 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 L=<{tzTc XV:icY
hV[= 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) jHBP:c ]B9Ut&mF; 建模任务 V.~C.x KmaMS(A(3
Oo8"s+G #~:@H&f790 单次FMM仿真结果 .eG_>2'1 R^tDL
<wO8=bem Xjnv8{X 参数扫描(1D) =Vi>?fWpn= L(\o66a-rV
KPB^>,T2{ UN7J6$!Cx7 参数扫描(2D) Afo qCF `T~~yM)q ky|Py
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