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摘要 ;p?42rCIcl %B*<BgJ;4F 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 \.XT:B_ o`JlXuG?o
(mOqv9pn 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) }R?v"6aBS +aXMH T"U 建模任务
$\JQGic` 0%q{UW2
GA%"w=M\ >Rz#g*@E 单次FMM仿真结果 n9mM5H47 BIHHRCe:@n
_7t|0aNo\ WsK"^"Z 参数扫描(1D) P^uP$D "`8H:y
)f:!#v(K 6cgpg+-a 参数扫描(2D) uHujw.H/y
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