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摘要 c&>S WdtZ{H 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 <m"fzT<" $p(
G;jX@XqZ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 7+'&(^c $kAal26 z 建模任务 $I*<gn9 h^ o@=%b
J?R\qEq% a_z1S Z2[ 单次FMM仿真结果 g#*LJ`1 wZe>}1t
rq(9w*MW: (R^qY"H
2 参数扫描(1D) $^K12Wcp- x<Ac\Cx
A>9IE(C_ ^55q~DP}> 参数扫描(2D) $cSmub ZK Xd 5 vNmQn (fqU73
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