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摘要 }HZ'i;~r|9
MK4CggoC 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 P99s
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 hM`*- +Zb 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） t]pJt
.ZH5^Sv$vp 建模任务 Xec U&
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H*>5ne=x 单次FMM仿真结果 lnnt b3q
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 ^KFwO=I@PV 7kidPAhY 参数扫描（1D） v #+tu,)V;
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 {eo?vA8SE k\M">K0E 参数扫描（2D） 2c<phmiK 8f|+045E@  hn u/
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