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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-10
    摘要 bgLa`8  
     \HXq~Y  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 S /"G=^~  
    }{y)a<`  
     KRz~3yH{ c  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） {]2^b)  
     0<7sM#sI!  
    建模任务 E;}&2 a  
    aq)g&.dw?  
     3\2%i 6W6  
    `JO>g=,4  
    单次FMM仿真结果 {n|ah{_p|  
    h4jo<yp\  
     KLvAe>#,  
    A 0v=7 ]  
    参数扫描（1D） a*-9n-U@[k  
    .W^B(y(tA  
     {CV+1kz  
    Q,:{(R  
    参数扫描（2D） ?z`={oN  
       q>Di|5<y  
    )X-'Q-  
     
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