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摘要 m-Jy
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~%>i lWaHB 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 E<3xv;v8r
vkGF_aenk
 Ep./->fOA 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） EEZ~Bs }d
r7R'beiH 建模任务 4_QfM}Fyp
dE,E,tv
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单次FMM仿真结果 iU 6,B
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 m"Mj3Z: Posz|u <x 参数扫描（1D） ]m 3c m
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eVY K 参数扫描（2D） EL3X8H 5Q8 H8!^
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