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摘要 vOgC>_x7 Y$-3v. 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 AddeaB5< *XWq?hi
=?X$Yaw* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ]Zf6Yw .Y 4eH.9t 建模任务 0W^dhYO QjPj[c
8I,QD`
xu 3CE[( 单次FMM仿真结果 N:"C+a( oK9'
+!0eu>~_& s4H2/EC 参数扫描(1D) |3?
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)$Z(|M4 rbqo"g` 参数扫描(2D) 4l8BQz}sb Vc3mp;6" _;RVe"tR#
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