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摘要 Eoug/we ;6I{7[ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 +! 6C^G =j 6amk-
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`A 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) &_
Ewu@4 2jf-vWV_ 建模任务 m&DDz+g BYN<|=
wh:O"&qk >De\2gbJ 单次FMM仿真结果 _cx}e!BK# Zr_{Z@IpU
G6xdGUM `,4"[6S 参数扫描(1D) %O;"Z`I JY#IeNL
)'xTDi 59O;`y0 参数扫描(2D) Nhn5 iN1* g.X?wyg5 ts3%cRN r
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