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摘要 %D::$,;<< uydy[n\ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 o_!=-AWV ^>?E1J3u
V !Cu%4 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 37#|X*L HkGA$ 建模任务 T?p'R Afpj*o
zvvF9 ]e*Zx;6oi 单次FMM仿真结果 .Pp;% |7ga9
,&wTUS\ ||{V*"+\ 参数扫描(1D) ."N`X\ y;0k |C
Bl)znJ^ OokBi 02b 参数扫描(2D) h)O<bI8 6usy0g
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