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摘要 xy5&}_Y
UOC>H%r~M? 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 aSkH<5 i`v
W_8N?coM
 FCgr 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） $F"'= +0
bz <f u 建模任务 y@Z@ eK3
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 ZF^$?;'3 Q'>pOtJG*J 单次FMM仿真结果 f~
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 P|%uB'|H R OsR;C0! 参数扫描（1D） jfF
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 wr I66R}@ 4c ^WQ>[ 参数扫描（2D） jrk48z Mtq\ xF,/+  EIQ`?8KSR
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