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摘要 4kqgZtg.
Sx|)GTJJ|- 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 #HF;yAc
O2 sAt3'
 1j":j %9M 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） 4(O;lVT}
0^ IHBN?9 建模任务 }:f
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A(dWA e,
 s`E^1jC Mu?hB{o1 单次FMM仿真结果 Fy'/8Yv#L
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 ^N`bA8 {u4=*> ?G 参数扫描（1D） h..D1(M
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 C\WU<! 1y)|m63& 参数扫描（2D）
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