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摘要 Qd?S~3XT >:
@\SU 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Fghan.F >E,/|K*
bgInIe 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) m<MN.R7 &Dp& 建模任务 ]8cD, NS <X97W\
~g~`,:Qc ;gRPTk$X3 单次FMM仿真结果 q}g0-Da vL "noLs
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\ aH500 参数扫描(1D) 73nmDZO| bX%4[BKP
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