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摘要 kDol 1v` T*:w1*: 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 `Fie'[F5,) C~egF=w
P -NR]f 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) `;Ho<26 #9gx4U 建模任务 :s6aFiz LaO8)lqR
d?&`ZVl FRuPv6 单次FMM仿真结果 9}%$j /{f"0]-RA
" i:[|7 6se8`[ 参数扫描(1D) Li]bU r1}^\C
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wm5 f`:GjA,J$ 参数扫描(2D) 9w- )?? f";pfu_FZ Vm|KL3}NRv
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