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摘要 J4K|KS7
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LJJ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 I;|5C=! :'^dy%&UB
d@q t%r3; 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ytBxe] !~$ YD*"S 建模任务 sP8-gkkor V;(*\"O
,{mf+ 3&$, \PtC 单次FMM仿真结果 _>:=<xyOq {]/Jk07
/iJcy:J #9W5 参数扫描(1D) KSpC%_LC 2YP"nj#
MkV*+LXC me}Gb a 参数扫描(2D) o._#=7|( ,ex(pmZ; E*!zJ,@8
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