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摘要 sF,
uIr/ (h%|;9tF 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 X$ejy/+. xQ_:]\EZ
)SC`6(GW 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) q8tP29 "&s9cO.H 建模任务 <(ubZ .Lp Nm'=R
</2,2AV4q* SIJ# ?0, 单次FMM仿真结果 qLu8!|QT 23,%=U
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