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摘要 nM?mdb TrBBV]4 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 :XP/ `%: \k69 S/O
Q{~ WWv 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 37SbF,G E>}(r%B 建模任务 $%3"@$ nhm)P_p
IJ`%Zh{f !M&Qca2 单次FMM仿真结果 os3jpFeG' #EO@<>I
{ vf"`#Q9 TI9]v( 参数扫描(1D) 88GS Bg:YH /2n-q_
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