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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-10
    摘要 t+!gzZ  
    O\?5#.   
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 39T&c85  
    A,lw-(.z4Z  
    ro&Y7m  
    傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 9[p }.9/  
    wAYzR$i  
    建模任务 J;=aIiN]R  
    |t65# 1  
    ( X 'FQ  
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    单次FMM仿真结果 ay:\P.`5)  
    E8iadf49  
    bpF@}#fT  
    L\:YbS~]  
    参数扫描(1D) O5TK&j  
    )| Vg/S  
    8?j&{G  
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    参数扫描(2D) p21=$?k!;  
       }GN kB  
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