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摘要 Y-= /,
Hh@2 m\HA 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 jOv~!7T p>&S7M/9
]K*GSU 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) E9L!)D]Y F: ,#? 建模任务 $NdH* BtID;^Dz
c(CJ{>F% EZ `}*Yrd 单次FMM仿真结果 DiR'p`b~ ~M; gM]r;
N"K\ick6J VW~Xbyf 参数扫描(1D) Zsgi{ 716hpj#*
s|E%~j[9 (s;zRb!4L 参数扫描(2D) ^F&A6{9f/h {IrJLlq E)Srj~$d
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