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摘要 $D'^t( aV>aiR= 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 t};~H\: [;KmT{I9
t)N;'v & 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) k=/eM$": 4DLq}v 建模任务 K=6UK%y
A XoR>H4xh
?t rV72D Z0ReWrl;` 单次FMM仿真结果 *
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*7" L]6 #Qbl=o4 参数扫描(1D) NQ9Ojj{# (][LQ6Pc
:Q@)*kQH [B^ G- 参数扫描(2D) !e3YnlE [vTMS2 h qmSE'8
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