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摘要 u'5`[U
-! 1y"3 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 {E_{JB~` 2W<n5o
VG@};dwbz* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) .2:\:H~3 )P
Jw+5 建模任务 U.oksD9v *VeW?mY,P
JMa3btLy( C"pB"^0 单次FMM仿真结果 yW7'? Fd$!wBL
C"V%# K MmoR~~* 参数扫描(1D) fb]S-z ( GF<[ }
Qd`T5[b\ &)9{HRP 参数扫描(2D) D{7w!z '0aG
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