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摘要 ZaFqGcS~ ` $[`C/h 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 QSOJHRl=C utw@5
);^{;fLy% 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) td2bL4 l3kBt-m 建模任务 l,Ixz1S3e Y FW0
H, O_l% .eDI ZX 单次FMM仿真结果 \JZ'^P$Q Q__1QUu
wW^3/
65pC#$F<x 参数扫描(1D) _NM=9cWd 6j~'>w(F
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参数扫描(2D) $qhVow5~ qd?k#Gw& 4_?*@L1
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