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摘要 <ToS& 6.@.k 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 wHLQfrl0 cMT7Bd
zL"e . 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) K=gg <E< |Z:yd}d 建模任务 25X|N=} ,/f\
(0{Dn5MH o,7|=.-b 单次FMM仿真结果 _Ewh:IM- "~4V(
;4 ;gaf *AH`ob} 参数扫描(1D) 9g6$"',H v "l).G?
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