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摘要 U$VTk ]2zx}D4f 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 3 ;.{
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XA9$n_|bw 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) D (qT$# :CHCVoh@95 建模任务 [W{`L_" lu-VBVwR
r(vk2Qy ,\}V.:THF 单次FMM仿真结果 !;CY
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