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摘要 6FG h=~{3, .Tt \U 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 raY5 nc{ 5%(J +d
uSbOGhP 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ,@%1q)S?A r~F T, 建模任务 GdEkA '#$%f
S6,AY(V 62rTGbDbx 单次FMM仿真结果 3 1KMn Q6Y1Jr">X
@Ek''a$ & S_gNa 参数扫描(1D) -[i9a:eRM %]nYv#K
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