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摘要 3?a`@C&x
Zh;wQCDj 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 rhbz|Uq
0>Snps3*Z
 > v%.q]E6n 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） kEnGr6e
P d~=:4 建模任务 I?}jf?!oM
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 JE-*o"& m G\QF0h 单次FMM仿真结果 (Of6Ij?
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 P-Y_$Nv0g 7j\^h2 参数扫描（1D） ?I6rW JcQ6
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 H_ $?b U_"!\lI_yg 参数扫描（2D） aNEah cZxY,UvYa  lf7bx}P*
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