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摘要 ]v$ 2JgF]@ G4uOY?0N 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 )Qo^Mz EDA6b]
ip*UujmNyR 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) u>2opI~m }&EdA;/o_ 建模任务 2]tW&y_i [?)He} _L
:IozWPs* *+J`Yk7} 单次FMM仿真结果 Lcs?2c:% {ka={7
4}<[4]f?| t&G #% 参数扫描(1D) `>k7^!Ds z+nq<%"'
?"p.Gy) QU@CPME 参数扫描(2D) z+Ej`$E{lD d s}E|Q ESkhCDU
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