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摘要 ~ :krJ[=
J#'8]p3E 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 .IU\wN
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 #lfW0?Y' 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） ]qd$rX
@fQvAok 建模任务 {Mp x33
RVN;j4uMg
 ;7>k[?'e a.z) m} +
单次FMM仿真结果 ^qY?x7mx1
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 ( 5 BZZ Kh8 参数扫描（1D） Pi hpo
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 `%/w0,0 Ya &\ b 6 参数扫描（2D） x~JOg57up ._q}lWT  udOdXz 6K?
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