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摘要 ^Mkk@F&1 Sb2v_o 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 EV M7Q> oih5B<&f#
.1 )RW5|c 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Ol/\t -;(Q1)& 建模任务 e0,'+;*=g }CL"S_>1
F t&+vS gwkb!#A 单次FMM仿真结果 \`.F\Z E`\8TqO
M+>`sj )>\}~s 参数扫描(1D) nv0@xnbz .\Fss(Zn
9 ;t]Hp_+K yGBQ0o7E 参数扫描(2D) `NRH9l>B7 83~ i:+; lU]un&[N
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