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摘要 YA8yMh*4D? duiKFNYN 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ['9OGV\ Eb{4.17b
R!M|k%( 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) #L+s%OJ`
Do{*cSd 建模任务 8Vg`;_ - "_% 0|;
|L~gNC DrVbx 单次FMM仿真结果 XN 0RT>@ |'l* $
P[|BWNei ?M1 QJ 参数扫描(1D) t g m{gR 7UEy L
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