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摘要 ,#PeK( `kdP)lI
` 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ?lYi![.o wZA(><\
x!o>zT\ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Gmi$Nl!~ CYZx/r< 建模任务 7VdG6`TDR ,nELWzz%{
> ^b6\ W/m,qilQI 单次FMM仿真结果 x\m !3 wtDy-H n
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