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摘要 vFHeGq70j (su7*$wV 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ]?_~QE` .}F
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o2oQ3 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) nN$.^!;& L[44D6Vg 建模任务 ZzK^bNx)0 g:RS7od=,
ri-&3%%z< a9&[Qv5-/ 单次FMM仿真结果 Uy=yA a
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v8)wu=u KiG19R$ 参数扫描(1D) \x$`/ ?`OFn F,K
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