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摘要 9]T61Z{OW1 5{ !"} 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 &*8.%qe; d%L/[.&
Pxkh;:agD 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) InRRcn( }!r
pH{y 建模任务 Id8MXdV U)iBeYW:
zRgGSxn cb|hIn\>7 单次FMM仿真结果 !K2QD[x F_ -Xx"
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