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摘要 @6"MhF XY'=_5t 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 '/I`dj d ~M;
?g ,s<{ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Z,)H f M+&~sX*a 建模任务 a[K&;) ql@2<V{
%r[`HF> >>{):r
Z 单次FMM仿真结果 X;!*D g@'XmT="_
pb97S^K[ 8xlj,}QO\ 参数扫描(1D) nuq@m0t\# &4OJJ9S
i*|HN"! 3P0z$jh"H 参数扫描(2D) I">"> |mH* I v`oilsrc
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