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摘要 X 0LC:0+
f{{J_""?& 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 ]Z [0xs
}%0X7'
 k#8E9/ t@ 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） | j cIn[)=
a!;#u 8f 建模任务 NA#,q 8
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 iaRCV 6cl iY5V4Gbo 单次FMM仿真结果 Mh@n>+IR
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 zb vV:9N C87 9eeJ 参数扫描（1D） #+|0 o-
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 akWOE}5# NT9| ``^Z 参数扫描（2D） cV4Y=
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