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摘要 .b _? -Fv &A"e,h(^ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 tE:X,Lt[ cno;>[$
%uEtQh[ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ;>C9@S+ &Y=.D:z< 建模任务 i7f%^7! ~BQV]BJ7
!a4cjc( /=trj5h 单次FMM仿真结果 k<, u0 2C{/`N
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