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摘要 pP^"p"<s
<;q)V%IUz 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 r.10b]b
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 fK 1^fzV 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） ^!x}e+ o
VCCG_K9' 建模任务 g 6!#n
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 L.$+W} 40Z/;,wp{ 单次FMM仿真结果 Jh`6@d
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 =G-u "QJ6 'k!V!wcD^y 参数扫描（1D） qp`G 5bw
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