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摘要 sgK =eBE L,#YP#O,j 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 !BkE-9v?w vW*Mf}=
R-Lpgi<a" 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) gE@Pb F1$XUos9 建模任务 DKMkCPX% .@nfqv7{
,.*Df)+ YzZj=]\`b 单次FMM仿真结果 ,{q#U3 V*te8HIe
|-\anby< iN'T^+um= 参数扫描(1D) L9Zz-Dr s ,D`jlY-1l
['\R4H!x uQ[,^Ee&/ 参数扫描(2D) wj}LVyV {4vWSb jA:'P~`Hj
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