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摘要 :!b'Vk GF%314Xu 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ,gOOiB
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XWs"jt 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) xz{IH,?IG $Gv9m 建模任务 xD[Gq% .]7Qu;L
hq/k*; o b|BXF 单次FMM仿真结果 q)vplV1A Nn"+w|v[ev
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