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摘要 X|X6^} ]e
R1
+Nl 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Si!W@Jm [&6l=a
.I[uXd 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ,_p_p^Ar\4 f:e~ystm 建模任务 pkhZW8O B\9ymhx;g%
s(F^P 8xlj:5;(w 单次FMM仿真结果 ?$9C[Kw` LDO@$jg
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