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摘要 f()FY<b Kl7WQg,XOi 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ~5Pb&+<$ 9.'h^#C
+#U|skl 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) !+>v[(OzM =4V&*go*\ 建模任务 $mf
u:tbP OsBo+fwT
Jk@]tAwoM |4$M]M f0 单次FMM仿真结果 .2d9?p3Y vEf4HZ&w
+$4(zPs@ Xq'cA9v=$J 参数扫描(1D) !It`+0S
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b0iSn#$ ^,m< 9 参数扫描(2D) DPi_O{W> QXCH(5as R1Sy9x .
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