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摘要 l0PZ`m+;j z8SmkL 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 o7sT=x9 @,cowar*
$Bs {u=+w 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) iw8yb;|z;A LSGBq 建模任务 -- %N8L;e a1t4Dd
s/q7.y7n{ AP7Yuv` 单次FMM仿真结果 smRE!f*q vdx0i&RiL
G IT>L d4>Z8FF|1B 参数扫描(1D) aTqd@},? $RIecv<e_
!Wy6/F@Z z$/_I0[ 参数扫描(2D) R`DKu= HkUWehVm ||hb~%JK6
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