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摘要 zdoJ+zRtK _djr>C=H" 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 $cxulcay= f"=1_*eH
/"Bm1 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
[=63xPxs. S|{'.XG 建模任务 ){PL6|5x us2X:X)
CO`%eL~ X5| <qu 单次FMM仿真结果 hf/6VlZ c3X'Sv
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