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摘要 udVEOn$ eFS;+?bu 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 _]:wltPv kSoa'
Tl"GOpH\] 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) g>)&Q>}=W 89ivyv;]U 建模任务 G6wBZ?)k \g&P5
_1_CYrUc ,?g}->ZB 单次FMM仿真结果 {#"[h1 k/bY>FY2r
^x(BZolkm A+v6N>}* 参数扫描(1D) 'k[d&sR '&?cW#J?
>8h14uCk >__t 2 参数扫描(2D) )Zud|%L j6<o,0P sbn|D\p
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