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摘要 O>pX(D S
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x @q.u3o9 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 %:`v.AG
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 N\__a~'0p 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） #d,)Qe [
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!j-/ql 建模任务 \;N+PE
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 &J2 UAmB WT,I~'r=S 单次FMM仿真结果 })^eaLBR4
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