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摘要 J~ c]9t
Ef?_d] 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 y M\ 1n
L` Qiu@
 `bH Eu"(, 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） P!]DV$o
FEdyh?$ 建模任务 q=[0`--cd
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 9cj=Cu E kkd<CEz2IM 单次FMM仿真结果 sZB$+~ .:}
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 VF[]E0=u6 x&;{4F Nw 参数扫描（1D） bgEUG
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