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摘要 rS3* k3 MU/3**zoW 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 b\^q9fy bn8`$FA^
%oY=.Ok ] 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) nD8CP[bRo RN0=jo!58 建模任务 h72#AN '3MCb
ao(lj hn@T ]k 单次FMM仿真结果 u^!c:RfE? It
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F3L'f2yBG Cm5:_K`;] 参数扫描(1D) Z1t?+v+Ro* e<;^P(g`E
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