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摘要 ri: , q/-
D>P;Izb 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 mIvnz{_d
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 CA/ -Gb 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） yX`#s]M
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 !:3^ hb ^+ wk 单次FMM仿真结果 [,rn3C A
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81l< 参数扫描（1D） L/yaVU{aEb
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 UA0 F): t!jYu<P 参数扫描（2D） hCAZ{+`z _lX8K:C (  JGis" e
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