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摘要 <#7}'@
!R//"{k0? 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 k^ B'W{ n/pM[gI
9:!n'mn 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) t.j q]L ~uq J@#o{ 建模任务 PD|I3qv~ l4O}>#
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JDo=x fH`P8?](x 单次FMM仿真结果 FnP/NoZa> b}9K"GT
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!z{bqPlFGG G-Sw`HHo 参数扫描(2D) TqKL(Qw
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