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摘要 4p g(QeR vYun^(_- 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 -2XIF}.Hu K_Gf\x
blS4AQ?b^ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 5WX2rJ8z G!Q)?N 建模任务 ?AH<y/i<Y qt)mUq;>
4ov~y1Da) gKEvgXOj 单次FMM仿真结果 C!A_PQ2y >@\-m
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