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摘要 @8keLrp 2!-? 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 fPXMp%T! z+@CzHCN
K6uZ4 m; 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) sb1Zm*m6 P:~Xaz\F 建模任务 M't~/&D# rbC4/ 9G\
f/1soGA U2Uf69R 单次FMM仿真结果 Oup5LH!sW "h@|XI
~Te9Lq | "zN2+X"& 参数扫描(1D) s,5SWdb\v !yUn|v>&p
M<Gr~RKmAn 6CQ.>M:R 参数扫描(2D) O"'.n5>:` f82$_1s^ #9R[%R7Nz
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