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摘要
F2LLN
D rUO- 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 . \ULbN3Z
TOB-a AO
 x:NY \._ 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） f P
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2i dk#k bG; 单次FMM仿真结果 s^G.]%iU
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 Ju!]&G8 &WuN&As!Z 参数扫描（1D） 58tARL Dr
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 9iIhte. h,u, ^ r 参数扫描（2D） UJAv`yjG K( c\wr\6  ah4N|zJ>v
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