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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-10
    摘要 5\&]J7(  
    W]zwghxH  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 3 tF:  
    i$["aP~G  
    &5d\~{;  
    傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) TywK\hH  
    %{U"EZ]D!  
    建模任务 QhsVIta  
    PGkCOmq   
    'aZAS Pn[  
    lM$t!2pRB  
    单次FMM仿真结果 7/ t:YBR  
    8A!'I<S1  
    i+I0k~wY  
    Sj@15 W  
    参数扫描(1D) [<Q4U{F  
    6P^hN%0  
    [8TS"ph>  
    \WX@PfL  
    参数扫描(2D) !UVk9  
       1LX)4TCC  
    PV(4$I}  
     
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