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摘要 c,G[R k
]yFO~ 4Nu 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 ,n>K$
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 '8 @4FXK 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） <fgf L9-
iWe'|Br 建模任务 wo86C[
~ sWXd~\
 b'`C<Rk u+pZ<Bb 单次FMM仿真结果 >#.du}t
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 99~-T iU ,v9*|> 4 参数扫描（1D） g- INhzMu
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 vsB3n$2@u Qg o| \= 参数扫描（2D） _2}/rwVg Z?eedVV@  QT(]S>--n
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