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摘要 $Kgw6 [:<CgU9C 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 `>&V_^y+ :U_k*9z}=
_7r<RZ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) dPplZ,Y% \M0-$&[+Z 建模任务 21'I-j 5/Viz`hsz
A\p'\@f Xkcy~e 单次FMM仿真结果 )90 Q .CGPG,\2
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