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摘要 5\&]J7( W]zwghxH 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 3 tF: i$["aP~G
&5d\~{; 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) TywK\hH %{U"EZ]D! 建模任务 QhsVIta PGkCOmq
'aZASPn[ lM$t!2pRB 单次FMM仿真结果 7/
t:YBR 8A!'I<S1
i+I0k~wY Sj@15 W 参数扫描(1D) [<Q4U{F 6P^hN%0
[8TS"ph> \WX@PfL 参数扫描(2D) !UVk9 1LX)4TCC PV(4$I}
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