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摘要 pJ>P[
M$ wC=b 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 [|v][Hwv
kBS9tKBWg
 aHD]k8 m z 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） %mW{n8W3{
!M(xG%M-V 建模任务 Ao 'l"-
rm7ANMB :
 EAUEQk?9 X;$+,&M" 单次FMM仿真结果 e +EQ]<M
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 $z 6_@`[ e[1hz_v 参数扫描（1D） 8|gIhpO?^
9+|$$)
 R*, MfV $t +,Tav 参数扫描（2D） ~g91Pr XPc^Tq  i$Ul(?
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