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摘要 ;VO:ph 4Aj
kq,ucU%>p 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 KNIn:K^/
p2$P: !Y)
 }d}Ke_Q0 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） wx0j(:B]
7Da` 建模任务 RuVGG)
_8_R 1s
 [e}]}t8m 'u |c 单次FMM仿真结果 HqT# $}rv
<;Zmjeb+#
 9e,0\J [}0haTYc4 参数扫描（1D） 8&`L Ydzt
dvJ M6W>^=
 #Kex vP&* y ~!Zg}o 参数扫描（2D） D!-g&HBTC X!dYdWw*m  T !WT;A
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