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摘要 #8a k=lL CWS]821; 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 OT}P0
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傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) *~8g:;u >ToI$~84 建模任务 7J5Yzu)D \kC'y9k
lLNI5C 9mB] \{^ 单次FMM仿真结果 He}"e&K g ~>nT>6
F&D,y-CQ >xIb|Yp)& 参数扫描(1D) [lE^0_+ snyA
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