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摘要 w~*"mZaG .s@[-!
p 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 E}=F
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cGjkx3l* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) F?TmOa0 cK+)MFOu+ 建模任务 1uhSP!b rkWW)h(e
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9 单次FMM仿真结果 90)rOD1B GD .>u
rx;zd ? OAz-w 参数扫描(1D) #Y<b'7yJ aMjCqu05
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DV_/BI 参数扫描(2D) %5H>tG`] .](s\6' ^zaN?0%S33
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