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摘要 J^-a@' `+
6 xLQ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 j@R"AP}
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 o8X? 1 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） NwN3T]W
7$mB. \| 建模任务 \U>|^$4 #5
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 >U)>~SQf Zi}j f25 单次FMM仿真结果 ~? :>= x
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 pM9 M8d M'VJE|+t 参数扫描（2D） O1 !YHo [Z^ 26/5a  HWFL u
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