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摘要 w:2yFC
jF-0 fK;)* 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 ([]\7}+8
3iw. yR
 o3HS | 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） X/H 2c"!t
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 qWJa p-hb `[~LMV&2 U 单次FMM仿真结果 r@ba1*y0
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参数扫描（1D） Vu,:rPqI
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 h([qq<Lzs *oAnG:J+M 参数扫描（2D） ._<gc;G h8P_/.+g|V  *-g mWATC6
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