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摘要 8W { g
#W.bZ]&WA 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 nT)~w
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 7%X+O8 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） o` 2 5
R,XD6 ' Q 建模任务 HN^w'I'bp
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uw00 单次FMM仿真结果 Aw5K3@Ltz
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 x9 TuweG $F<%Jl7_Z 参数扫描（1D） mJ/^BT]
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 %OTQRe: Sw/J+FO2 参数扫描（2D） &C\=!r0j^ ;Kt'Sit  uTxX`vH@!
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