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摘要 0[1/#0$ @Wd1+Yky 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 vzZ"TSP Fr1OzS^&(
I1W~;2cK 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) "*N]Y^6/A 43N=OFU 建模任务 nOK1Wc%/' k];fQ7}m<0
#z9@x}p5g Cd7l+~*Y 单次FMM仿真结果 j4E`O%@^ |],ocAN{
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r0AhWv 5/i]Jni 参数扫描(1D) j\2q2_f }c'T]h\S
p0C|ECH 9 tIE+RD 参数扫描(2D) n@9R|biO "\"sM{x >C/O >g
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