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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-10
    摘要 Cj)*JZV G  
     {tXyz[;i1}  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 uw&p)  
    *kGk.a=  
     !5zj+N  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） v00w GOpW  
     eeUEqM$7EX  
    建模任务 K{G\=yJ((  
    a [BIY&/Q  
     - [vH4~  
    F$,i_7Z&6  
    单次FMM仿真结果 H1ox>sC  
    H3 |x  
     C/z0/mk  
    /pgn?e'lk  
    参数扫描（1D） O1z3(  
    0e~4(2xK  
     Tml>>O  
    /s`8=+\9  
    参数扫描（2D） Z&Z= 24q_  
       X./7b{Pax  
    y}> bJ:  
     
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