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摘要 [`]4P& a>mm+L8y 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 *D'$"@w3 5OoN!TEM
l4TpH|k 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 8foJ I^3 lV.F,3 建模任务 gKOOHUCb %lg=YGLQB
zni)<fmju F @Te@n 单次FMM仿真结果 "zIFxDR# [o*7FEM|<
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