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摘要 #{r#;+ J68j=`Y 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 FZd.L6q $(s\{(Wn
sDgXU@ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) d;Hn#2C :ztr) 建模任务 rOW-0B+N WWwUwUi
_u"nvgVz9 f:zFFpP.j@ 单次FMM仿真结果 {)- .xG N_4eM,7t
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