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摘要 (?r,pAc: M,]|L c h 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 QM0B6F WPL@v+
Food<(!.> 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) F}nwTras W "'6M=* 建模任务 @Dh2@2`> !{lH*
B}iEhWO6 %qoS(iO`h 单次FMM仿真结果 ' P?h?w^T >NKJ@4Y
la3B`p >$4#G)s 参数扫描(1D) _?
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m-Eh0Zl>Z 8>v_th 参数扫描(2D) w>%@Ug[" _ox+5?> ==dKC;
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