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摘要 !$%/
rQ9 {mCKTyN+ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 J3]qg.B%z zgEr ,nF
Nb|3?c_ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) qcR|E`k-G jsZiARTZRl 建模任务 Fi,e}j=2f }1X11+/W
2)HxW}o 'xLM>6[wz 单次FMM仿真结果 ~#HH;q_7m j`[yoAH
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