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摘要 Zc<fopi h P`$"B0B) 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 3S97hn{|= hA0g'X2eC
ha%3%O8Z 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) "kHQ}#6r Gop;!aV1* 建模任务 0bt"U=x4 b;;C><
1lJY=`8qa !&ly :v! 单次FMM仿真结果 A{3?G-]* " 0&+`7
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