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摘要 glRHn?p $+[
v17lF 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 fUS1` _2S(
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ksli-Px 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) *Ag,/Cm] sxU
0Fg 建模任务 10e~Yc Z[zRZ2'i5
,CQg6-[ kG3m1: : 单次FMM仿真结果 rW0-XLbL5H :0j_I\L
7,Q>>%/0P xEqr3( 参数扫描(1D) #qdfr3 lH1gWe
IkJ-*vI6 {3*Zx"e![ 参数扫描(2D) D1f}g QNgfvy 5TS&NefM
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