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摘要 iX\X >W$P
%IRi1EmN8 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 H.2QKws^F
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 Z)\@i=m 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） T^v}mWCZ
*,m; 建模任务 ERt{H3eCcJ
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^s3G f
{"?%Ku# 单次FMM仿真结果 ~nPtlrQa#*
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 x ;')9/3 ZW }_Q s 参数扫描（1D） g[t [/TV
>U3cTEs cj
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VD+X S@Hf
&hJ 参数扫描（2D） 2|bn(QYz QwJyY{O `  ${)b[22":
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