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摘要 OF'y]W& ,-#8/9ts 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 /<)A!Nn+F jHq.W95+P
B uV@w-| 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ntE;*FyH 6VpT*,2d~ 建模任务 [f,; +Ze I|]~f[xI
9mfqr$3 >.N?y@ 单次FMM仿真结果 =b2/g[ >QV=q`I
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