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摘要 ;TV'PJ 1|~#028 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 "Eok;io IJ_'w[k
%YvSHh;c 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 7Ysy\gZ&wp !w#ru?L{ 建模任务 |+;K hC RSPRfYU/
z@%/r~?| +NLQYuN 单次FMM仿真结果 3<)@ll K+7yUF8XP
g=oeS%>E HzG~I8o(d 参数扫描(1D) !|Xl 8lV` <^*+8{*
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