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摘要 rf= ndjrH o~ J~-$T{ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 o`+$h:zm@ '%y5Dh
Gw1Rp 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) TcKt vn(ji= 建模任务 y 13Y,cz~B fjP(r+[
Y6w7sr_R B57MzIZi] 单次FMM仿真结果 &8xwR Um2RLM%
_CImf1 3GVS-? 参数扫描(1D) CEHtr90P ^<OcbOn;O
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